[实用新型]一种直拉单晶硅的掺杂装置

权利要求书

1.一种直拉单晶硅的掺杂装置，包括：支撑架(2)、与支撑架滑竿相嵌套的滑动装置(1)、与支撑架和滑动装置相连的掺杂容器(3)、用于连接的连接绳或连接杆(4)；其特征在于：所述支撑架设有支撑面板(2-1)，支撑面板(3-1)边缘下方设有3根与支撑面板(2-1)固定相连支撑杆(2-3)，支撑面板(2-1)中部下方设有2根有下限位的垂直滑竿(2-2)，垂直滑竿(2-2)与支撑面板(2-1)以螺纹连接方式固定，支撑面板(2-1)中部设有第一通孔(2—4)；所述滑动装置(1)设有悬挂杆(1-1)，悬挂杆(1-1)通过支撑架通孔(2-4)贯穿支撑面板(2-1)，悬挂杆(1-1)上部设有锲型槽，用于与单晶炉籽晶夹持装置固定相连用，悬挂杆下部设有与悬挂杆固定相连的滑块(1—2)，滑块设有第二和第三通孔(1—3)，用于与支撑架滑竿垂直(2-2)滑动时使用，使得滑动装置(1)能沿着垂直滑竿(2-2)方向滑动，滑块(1-2)接触到垂直滑竿(2-2)末端下限位时，滑块停止下滑；所述掺杂容器(3)包括可分离的容器上盖(3—1)、容器中部(3-2)、容器底部(3—3)，容器上盖设有第四通孔(3-4)，容器上盖(3-1)置于容器中部(3-2)上口，容器中部(3-2)通过连接绳或连接杆(4)与支撑架垂直滑竿(2-2)固定垂直相连，容器底部(3-3)通过连接绳或连接杆(4)穿过容器上盖(3—1)第四通孔(3-4)与滑动装置(1)底部固定垂直相连。 

2.如权利要求1所述的直拉单晶硅的掺杂装置，其特征在于：支撑架(2)及其部件，与垂直滑竿(2-2)相嵌套的滑动装置(1)及其部件为不锈钢材质。 

3.如权利要求1所述的直拉单晶硅的掺杂装置，其特征在于：所述掺杂容器(3)及其部件采用高纯石英材质。 

4.如权利要求1所述的直拉单晶硅的掺杂装置，其特征在于：用于连接的连 接绳或连接杆(4)采用高纯金属钼绳或钼杆、不锈钢绳或不锈钢杆。