[实用新型]质谱仪及其二次离轴检测器

权利要求书

1.一种二次离轴检测器，用于采集放大质谱仪的质量分析器(1)释放的离子，包括设置于与所述质量分析器(1)轴向不同方向上的高能打拿极(5)、设置于所述高能打拿极(5)与所述质量分析器(1)之间的偏转电极(4)及与所述高能打拿极(5)轴向相对设置的检测器(6)，其特征在于，所述二次离轴检测器还包括：

第一偏转屏蔽罩(8)，罩设于所述高能打拿极(5)与检测器(6)外部，所述第一偏转屏蔽罩(8)上设有一第一开孔(80)。

2.根据权利要求1所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述二次离轴检测器还包括第二偏转屏蔽罩(7)，所述第二偏转屏蔽罩(7)罩设于所述偏转电极(4)外部，所述第二偏转屏蔽罩(7)上设有两第二开孔(70)和第三开孔(71)，所述两第二开孔(70)对应第一开孔(80)的位置，所述第三开孔(71)对应质量分析器(1)的轴线位置。

3.根据权利要求2所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述二次离轴检测器还包括出口聚焦透镜组(2)，所述出口聚焦透镜组(2)设于所述质量分析器(1)与所述第三开孔(71)之间。

4.根据权利要求3所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述出口聚焦透镜组(2)包括至少一个第一透镜(20)。

5.根据权利要求4所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述第一透镜(20)为筒状透镜或片状透镜。

6.根据权利要求2所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述二次离轴检测器还包括入口聚焦透镜组(3)，所述入口聚焦透镜组(3)设于所述第一开孔(80)与所述第二开孔(70)之间。

7.根据权利要求6所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述入口聚焦透镜组(3)包括至少一个第二透镜(30)。

8.根据权利要求7所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述第二透镜(30)为筒状透镜或片状透镜。

9.根据权利要求1所述的二次离轴检测器，其特征在于，所述偏转电极(4)为棒状电极或曲面电极。

10.一种质谱仪，包括离子源、质量分析器(1)及离轴检测器，其特征在于，所述离轴检测器为权利要求1～9中任意一项所述的二次离轴检测器。