[实用新型]刻蚀机运行检测保护机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池硅片制造业，特别涉及一种刻蚀机运行检测保护机构。 

背景技术

目前，刻蚀机在正常的生产工艺过程中都没有有效检测和保护刻蚀机转盘不转的机构，一旦刻蚀机转盘不转，机台无法做出判断，也不会发出任何警告，电机转动而转盘不转会导致机台腔体内会一直辉光刻蚀，导致硅片边缘刻蚀出现刻蚀不净，产品在无法保证工艺效果的情况下而被流转至下道工序，这样会导致批量的产品不良，给公司和客户造成严重的经济损失。 

故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。 

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题和不足，本实用新型的目的是提供一种刻蚀机运行检测保护机构，对刻蚀机进行预警和保护。 

为实现上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案为一种刻蚀机运行检测保护机构，包括检测电路，所述检测电路由定时器检测转盘不转时间构成，所述定时器电路包括定时器电源电路、定时器启动和复位电路和报警输出电路；所述定时器电源电路包括交流继电器，电机三相线路中的两相引出与所述交流继电器相适配的交流电压，与该交流继电器的线圈相连，定时器相适配的直流电源、继电器的常开触点和定时器的第二引脚、第十引脚依次串联，构成定时器的供电线路；所述定时器启动和复位电路由定时器的第三引脚和第七引脚间连接一接近开关构成；所述报警输出电路由定时器的第九引脚、第十一引脚、声光报警器和机台自带的电源依此串联，构成报警输出电路。 

作为优选的，定时器第九引脚、第十一引脚为常开触点。 

本实用新型相比现有技术，其优点为本实用新型电路结构简单，其改造成本低，性能可靠，提高刻蚀产品质量，有效避免刻蚀机因刻蚀不净而产生工艺失败片和报废片的数量，降低企业经济损失。 

附图说明

图1为本实用新型的定时器引脚功能示意图； 

图2为本实用新型的定时器的36V交流继电器电源电路； 

图3为本实用新型的定时器的24V直流电源电路； 

图4为本实用新型的定时器启动和复位电路； 

图5为本实用新型的定时器警报输出电路。 

具体实施方式

本实施例采用市售的omron H3CA-A型的定时器，需要24V直流电源供电。本实用新型包括检测电路，该检测电路由定时器检测转盘不转的时间构成，该定时器电路包括：定时器电源电路、定时器启动与复位电路和报警输出电路。本实用新型将刻蚀机工作时检测的转盘转动状况通过检测电路进行检测并转换数据信号，将检测的信号与设定的信号进行比对和判断，当判断异常时发出警报信号给机台，机台收到报警信号后发出声光报警，产线人员发现报警后可终止工艺，从而最大限度的减少损失。 

如图1、图2和图3所示，定时器电源电路包括36V交流继电器，将电机三相线路中的两相引出36V的交流电，与交流继电器的线圈相连，24V直流电源、继电器的常开触点和定时器的第二引脚、第十引脚依次串联，构成定时器的供电线路，实现电机启动电源和定时器电源同步。 

如图4所示，定时器的第三引脚和第六引脚短接，在第三引脚和第七引脚间连接一接近开关，当转盘不转的时间小于定时器设定的时间时，接近开关闭合产生一个复位信号使定时器复位一次，当转盘不转的时间大于设定时间时接近开关保持断开状态，即接近开关不产生复位信号，定时器就会有报警输出信号。 

如图5所示，定时器的第九引脚、第十一引脚为常开触点，并依次与声光报警器、机台自带的24V电源依此串联，构成报警输出电路，当定时器达到设定时间时，第九引脚、第十一引脚闭合导通，声光报警器发出警报，使得现场工作人员及时发现转盘不转，减少损失。