[实用新型]刻蚀机运行检测保护机构有效
| 申请号： | 201320768727.5 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203746803U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄金;张明明;张伟巍;宋超;丁泽昆 | 申请（专利权）人： | 合肥海润光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻蚀 机运 检测 保护 机构 | ||
【权利要求书】：
1.刻蚀机运行检测保护机构，其特征在于：包括检测电路，所述检测电路由定时器检测转盘不转时间构成，所述定时器电路包括定时器电源电路、定时器启动和复位电路、报警输出电路；所述定时器电源电路包括交流继电器，电机三相线路中的两相引出与所述交流继电器相适配的交流电压，与该交流继电器的线圈相连，定时器相适配的直流电源、继电器的常开触点和定时器的第二引脚、第十引脚依次串联，构成定时器的供电线路；所述定时器启动和复位电路由定时器的第三引脚和第七引脚间连接一接近开关构成；所述报警输出电路由定时器的第九引脚、第十一引脚、声光报警器和机台自带的电源依此串联，构成报警输出电路。
2.根据权利要求1所述的刻蚀机运行检测保护机构，其特征在于：所述的定时器第九引脚、第十一引脚为常开触点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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