[实用新型]晶圆刻号自动识别系统

权利要求书

1.一种晶圆刻号自动识别系统，其特征在于，包括图像采集装置、图像处理装置、刻号识别装置和显示装置；

所述图像采集装置包括一摄像机，所述摄像机镜头正对所述晶圆表面刻号位置处；

所述图像处理装置包括一色彩处理单元、图像切割单元、字符识别单元；

所述字符识别单元有一储存模块，所述储存模块存储有有字库信息；

所述刻号识别装置储存有正确的晶圆刻号信息；

所述图像采集装置用于采集所述晶圆表面的图像；

所述图像处理装置对采集的晶圆表面的图像进行处理，并输出所述晶圆刻号的字符信息；

所述刻号识别装置用于识别图像处理装置输出的字符信息是否正确，并通过所述显示装置显示输出识别结果。

2.如权利要求1所述的晶圆刻号自动识别系统，其特征在于，所述晶圆放置在一晶圆检测机台的托盘上。

3.如权利要求1所述的晶圆刻号自动识别系统，其特征在于，所述摄像机镜头处有一遮光罩。

4.如权利要求3所述的晶圆刻号自动识别系统，其特征在于，所述摄像机通过一支撑台固定在所述晶圆刻号位置处正上方，所述支撑台通过螺丝固定在所述晶圆检测机台上。

5.如权利要求4所述的晶圆刻号自动识别系统，其特征在于， 所述摄像机通过一万向管固定在所述支撑台上。

6.如权利要求5所述的晶圆刻号自动识别系统，其特征在于，位于所述支撑台上固定有一红光灯。