[实用新型]一种扩散石英舟结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶硅太阳能电池片制作领域，具体地涉及一种扩散石英舟结构。 

背景技术

晶体硅太阳能电池片制备过程中的扩散工序，在硅片（一般掺硼）表面形成P-N结，是太阳能电池片实现光电转换的核心，而P-N结的结深、表面惨杂浓度以及P-N结的均匀性，对太阳能电池片的光电转换效率影响重大，尤其是P-N结的均匀性，它会对丝网烧结以及串联电阻Rs影响较大。 

目前扩散的常规方法是在间隔均匀的石英舟上，插上清洗后的硅片进行扩散，而该方法的弊端在于，扩散管的炉口由于热量损失较大，使得炉口的扩散方阻偏大，而炉内由于热量损失较小，使炉内的扩散方阻偏小，这样就造成了扩散方阻管内不均匀，虽然通过修改炉内和炉口的温度设定可以缓解，但是由于气流的不均匀，使得载气携带的磷源也不均匀，容易造成硅片扩散方阻不均匀度增加。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种扩散石英舟结构，通过改变扩散石英舟的间距大小，使石英舟上的硅片，从炉口到炉内，片内和片间的方阻更加均匀。 

本实用新型所采用的技术解决方案：一种扩散石英舟结构，包括石英舟片、石英舟卡位。所述的石英舟卡位处的间隔为逐步递减，石英卡位间距y=4.25-0.01x，其中x代表第x个卡位间距，最大间距为4.25mm，最小间距为3.25mm，减幅为0.01mm，舟总长为380mm，共100个卡位。石英舟在使用过程中，间距大的一端放在扩散炉炉口处，间距小的一端放在扩散炉炉内。 

本实用新型的有益效果是可以有效解决扩散方阻在炉内和炉口的差异以及片内不均匀度。 

附图说明

图1  通常采用的石英舟的舟片间距示意图 

图2  本实用新型中石英舟的舟片间距示意图。