[实用新型]硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体材料加工生产领域，具体涉及一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装。

背景技术

随着半导体设备行业数十年来的技术积累，光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造设备的整线装备能力。光伏太阳能硅片印刷机已广泛应用于光伏太阳能硅片的印刷生产，印刷光伏太阳能硅片的最关键的步骤之一是在硅片的正面和背面制造非常精细的电路，这种金属镀膜工艺通常由丝网印刷技术来完成，即将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在硅片上形成电路或电极。由此可见，光伏太阳能硅片的质量好坏很大程度取决于光伏太阳能硅片印刷机的设备质量。

现有的印刷机正面电极印刷工位的工件台上表面设有与抽真空管连接的气孔，运行时硅片与工件台上表面贴合，硅片在气孔的作用下真空吸附定位，印刷完成后，停止抽真空，工件台底部的升降杆将硅片顶出工件台。但是由于硅片的底面平滑，尽管加工完成后工件台已不再抽真空，硅片的底面依然会与工件台贴合紧密，升降杆顶出硅片时若两者贴合太紧容易损坏硅片，造成废品。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装，装卸工件快速简单，且不对工件造成损坏，大大降低工件卸料时损坏率。

本实用新型通过以下技术方案实现：

硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装，包括用于固定硅片的真空吸盘，真空吸盘1的上表面上设有若干气孔，所述气孔与印刷机抽真空装置、印刷机送风系统连通。

本实用新型进一步的改进方案是，所述真空吸盘上设有与气孔连通的进气口、出气口，所述进气口通过连接管与所述印刷机送风系统连接，所述出气口通过另一根连接管与所述印刷机抽真空装置连接，所述的连接管上都设有与所述印刷机控制系统电连接的控制阀；或者所述真空吸盘上设有一个与所述气孔连通的输气口，所述输气口通过连接管与换向阀的出口连接，所述换向阀的两进口分别通过连接管与所述印刷机抽真空装置、印刷机送风系统连接。

本实用新型进一步改进方案是，所述换向阀连接有时间继电器，所述时间继电器与印刷机的控制系统电连接。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

本实用新型在定位时连通抽真空装置，能够吸附硅片使其定位便于加工，在加工完成后关闭切断抽真空装置，顶杆向上顶起的同时吸盘连通送气装置，用气流向上顶硅片，在气流和顶杆的同时作用下，能够保证硅片快速完整的取出，大大降低工件在卸料时的损坏率。

附图说明

图1为本实用新型双接口俯视示意图。

图2为本实用新型单接口俯视示意图。

具体实施方式

如图1所述的硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装，包括用于固定硅片的真空吸盘1，真空吸盘1的上表面上设有若干气孔8，气孔8与印刷机抽真空装置2、印刷机送风系统3连通。本实用新型在定位时连通抽真空装置，能够吸附硅片使其定位便于加工，在加工完成后关闭切断抽真空装置，顶杆向上顶起的同时吸盘连通送气装置，用气流向上顶硅片，在气流和顶杆的同时作用下，能够保证硅片快速完整的取出。

具体的是，真空吸盘1上设有与所述气孔8连通的进气口4、出气口5，进气口4通过连接管与印刷机送风系统3连接，出气口5通过另一根连接管与印刷机抽真空装置2连接，所述的连接管上都设有与印刷机控制系统电连接的控制阀6。

或者真空吸盘1设有一个与气孔8连通的输气口41，输气口41通过连接管与换向阀7的出口连接，换向阀7的两进口分别通过连接管与所述印刷机抽真空装置2、印刷机送风系统3连接，换向阀7连接有时间继电器，时间继电器与印刷机的控制系统电连接。