[实用新型]硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装有效
申请号: | 201320596559.6 | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN203528055U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 高超;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;陈前兆 | 申请(专利权)人: | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
主分类号: | B41F15/20 | 分类号: | B41F15/20 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 谢观素 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 印刷机 正面 电极 印刷工 定位 工装 | ||
1. 硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,包括用于固定硅片的真空吸盘(1),真空吸盘1的上表面上设有若干气孔(8),其特征在于:所述气孔(8)与印刷机抽真空装置(2)、印刷机送风系统(3)连通。
2. 如权利要求1所述的硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述真空吸盘(1)上设有与所述气孔(8)连通的进气口(4)、出气口(5),所述进气口(4)通过连接管与所述印刷机送风系统(3)连接,所述出气口(5)通过另一根连接管与所述印刷机抽真空装置(2)连接,所述的连接管上都设有与所述印刷机控制系统电连接的控制阀(6);或者所述真空吸盘(1)上设有一个与所述气孔(8)连通的输气口(41),所述输气口(41)通过连接管与换向阀(7)的出口连接,所述换向阀(7)的两进口分别通过连接管与所述印刷机抽真空装置(2)、印刷机送风系统(3)连接。
3. 如权利要求2所述的硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述换向阀(7)连接有时间继电器,所述时间继电器与印刷机的控制系统电连接。
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