[实用新型]硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装有效

专利信息
申请号: 201320596559.6 申请日: 2013-09-26
公开(公告)号: CN203528055U 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 高超;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;陈前兆 申请(专利权)人: 江苏晶鼎电子材料有限公司
主分类号: B41F15/20 分类号: B41F15/20
代理公司: 淮安市科文知识产权事务所 32223 代理人: 谢观素
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 印刷机 正面 电极 印刷工 定位 工装
【权利要求书】:

1. 硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,包括用于固定硅片的真空吸盘(1),真空吸盘1的上表面上设有若干气孔(8),其特征在于:所述气孔(8)与印刷机抽真空装置(2)、印刷机送风系统(3)连通。

2. 如权利要求1所述的硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述真空吸盘(1)上设有与所述气孔(8)连通的进气口(4)、出气口(5),所述进气口(4)通过连接管与所述印刷机送风系统(3)连接,所述出气口(5)通过另一根连接管与所述印刷机抽真空装置(2)连接,所述的连接管上都设有与所述印刷机控制系统电连接的控制阀(6);或者所述真空吸盘(1)上设有一个与所述气孔(8)连通的输气口(41),所述输气口(41)通过连接管与换向阀(7)的出口连接,所述换向阀(7)的两进口分别通过连接管与所述印刷机抽真空装置(2)、印刷机送风系统(3)连接。

3. 如权利要求2所述的硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述换向阀(7)连接有时间继电器,所述时间继电器与印刷机的控制系统电连接。

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