[实用新型]具有脱气装置及氮封监控的超纯水制备系统

权利要求书

1.一种具有脱气装置及氮封监控的超纯水制备系统，其特征在于，包括控制器、前处理装置、脱气装置，内设有与所述的控制器通讯连接的液位传感器和压力传感器的氮封水箱、与所述的氮封水箱经补气管路连通的氮气源和供水泵以及后续处理装置，所述的前处理装置的出水经第一管路连通至脱气装置，脱气装置的出水进入氮封水箱，同时在前处理装置与氮封水箱之间设置有旁通管道，所述的第一管路和旁通管道上分别设置有球阀以方便切换管道，同时，在所述的第一管路上设置有与所述的控制器通讯连接的水质在线检测器，所述的氮封水箱底部排水口与供水泵连通，顶部的溢流口经第三管路连通至水封水箱，所述的补气管路上设置有电磁阀。

2.如权利要求1所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述的氮封水箱为玻璃钢氮封水箱。

3.如权利要求1或2所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述的脱气装置为并联设置的两组膜脱气机构，所述的膜脱气机构包括微孔性聚丙烯憎水性膜和真空泵。