[实用新型]高可靠性加速度传感器

权利要求书

1.一种高可靠性加速度传感器，其特征在于：包括MEMS加速度芯片（1）、用于过滤干扰信号并处理感应信号的信号处理芯片（2）和基板（3），所述MEMS加速度芯片（1）由盖体（4）、微机械系统（5）和用于产生感应信号的电路基片（6），该微机械系统（5）由X轴加速度感应区（7）、Y轴加速度感应区（8）和用于感应外界Z轴运动的Z轴加速度感应区（9）组成，所述盖体（4）与电路基片（6）四周边缘通过密封胶层（10）粘接从而形成一密封腔（11），所述微机械系统（5）位于密封腔（11）内且在电路基片（6）上表面，该密封腔（11）的高度为45~55μm；

所述Y轴加速度感应区（8）与X轴加速度感应区（7）排列方向垂直；所述Z轴加速度感应区（9）包括质量条块（20）和用于支撑质量条块（20）中心的支撑轴（21），所述质量条块（20）两端正下方均设有Z轴感应电极（22），所述质量条块（20）两端正上方均设有限位挡块（23）；

所述信号处理芯片（2）下表面通过第一绝缘胶粘层（12）与MEMS加速度芯片（1）的盖体（4）表面粘接，此MEMS加速度芯片（1）的电路基片（6）表面通过第二绝缘胶粘层（13）与基板（3）部分区域粘接，电路基片（6）和基板（3）各自上表面分别开有若干个芯片焊接点（14）和若干个分布基板（3）两侧边缘区的基板焊接点（15），信号处理芯片（2）上表面分别开有若干个信号输入焊接点（16）和信号输出焊接点（17），此信号输出焊接点（17）分布在信号处理芯片（2）两侧边缘区，若干第一金属线（18）跨接于所述芯片焊接点（14）和信号输入焊接点（16）之间，分布于两侧的若干第二金属线（19）跨接于所述信号输出焊接点（17）和基板焊接点（15）之间。

2.根据权利要求1所述的高可靠性加速度传感器，其特征在于：所述密封腔（11）的高度为50μm。

3.根据权利要求1所述的高可靠性加速度传感器，其特征在于：所述X轴加速度感应区（7）和Y轴加速度感应区（8）位于一排，所述Z轴加速度感应区（9）与X轴加速度感应区（7）和Y轴加速度感应区（8）平行设置。

4.根据权利要求1所述的高可靠性加速度传感器，其特征在于：所述基板焊接点（15）开设电路基片（6）上表面且位于盖体（4）一侧。