[实用新型]一种多晶硅生产尾气的回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种尾气回收技术领域，特别是涉及一种多晶硅生产尾气的回收装置。 

背景技术

生产多晶硅是一个提纯过程，主要原料是三氯氢硅，再用氢气进行一次高温还原，这个过程中约有25%的三氯氢硅转化为多晶硅，剩余大量气体进入尾气排放。在这个过程中，如果不能对其产生的尾气进行回收，排出的三氯氢硅、四氯氢硅、氯化氢、氢气等有害物质不但会对操作人员的身体造成严重伤害，而且还会污染环境。

传统的生产多晶硅尾气处理的方法为：用水和碱液作为吸收剂，对含有氯硅烷的多晶硅尾气进行洗涤，其中氯硅烷与水反应生成二氧化硅和盐酸，再与碱液发生中和反应生成盐，经洗涤后的尾气直接排入大气，此技术的优点是设备简单、投资小，但缺点是不能对多晶硅生产尾气进行充分的净化回收，造成污染非常严重，而且消耗大量碱液，尾气中含有的三氯氢硅、氯化氢等随尾气排出，造成大量的资源被严重浪费，因此能够有效的防止多晶硅生产尾气对环境造成污染，同时能够充分对尾气中的有效成分进行回收再次利用，是目前需要解决的主要问题。 

发明内容

本实用新型为了解决上述问题，提供了一种多晶硅生产尾气的回收装置，能够有效的避免多晶硅生产尾气污染环境，而且能够对尾气中的有效成分进行回收利用，节省资源和开支。

本实用新型的技术方案是：

一种多晶硅生产尾气的回收装置，包括冷凝装置、储罐、回收塔和循环池，冷凝装置由第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器组成，所述四个冷凝器的入口分别于尾气出口相连通，所述第一冷凝器和第二冷凝器的出口与第一储罐连接，第三冷凝器和第四冷凝器的出口与第二储罐相连接，所述第一储罐和第二储罐分别通过电磁阀与回收塔的进口相连，回收塔的出口与循环池相连，所述回收塔的洗涤液进口管路连接循环池的洗涤液出口，回收塔的洗涤液出口管路连接循环池的洗涤液进口。

所述回收塔为两个，分别为第一回收塔和第二回收塔，第一回收塔的洗涤液进口与循环池的洗涤液出口之间的管路上设有第一循环泵，第二回收塔的洗涤液进口与循环池的洗涤液出口之间的管路上设有第二循环泵。

所述第一储罐通过第一电磁阀与第一回收塔相连，第二储罐通过第二电磁阀与第二回收塔相连。

本实用新型的有益积极效果是：

本实用新型结构简单，通过四个冷凝器，对各个冷凝器中的尾气采取不同的冷凝温度进行单独冷凝，便于优化各个冷凝器的参数达到最佳冷凝效果，第一储罐和第二储罐实现了对冷凝器回收的氯硅烷进行分类和处理，并且通过两个回收塔和循环池，对尾气进行去除杂质，本实用新型不但提高了循环使用的回收氯硅烷的质量，而且保证了多晶硅的生产质量，同时提高了原料利用率，有效的节省了生产成本。 

附图说明

图1为本实用新型的流程示意框图；

图2为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

参见图1~图2所示，图中标号所代表的意义为：1.尾气出口，2.第一冷凝器，3.第二冷凝器，4.第三冷凝器，5.第四冷凝器，6.第一储罐，7.第二储罐，8.第一回收塔，9.循环池，10.第一循环泵，11.第二回收塔，12.第二循环泵。

一种多晶硅生产尾气的回收装置，包括冷凝装置、储罐、回收塔和循环池，冷凝装置由第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器组成，所述四个冷凝器的入口分别于尾气出口相连通，所述第一冷凝器和第二冷凝器的出口与第一储罐连接，第三冷凝器和第四冷凝器的出口与第二储罐相连接，所述第一储罐和第二储罐分别通过电磁阀与回收塔的进口相连，回收塔的出口与循环池相连，所述回收塔的洗涤液进口管路连接循环池的洗涤液出口，回收塔的洗涤液出口管路连接循环池的洗涤液进口。

所述回收塔为两个，分别为第一回收塔和第二回收塔，第一回收塔的洗涤液进口与循环池的洗涤液出口之间的管路上设有第一循环泵，第二回收塔的洗涤液进口与循环池的洗涤液出口之间的管路上设有第二循环泵。

所述第一储罐通过第一电磁阀与第一回收塔相连，第二储罐通过第二电磁阀与第二回收塔相连。

本实用新型通过四个冷凝器，对各个冷凝器中的尾气采取不同的冷凝温度进行单独冷凝，便于优化各个冷凝器的参数达到最佳冷凝效果，第一储罐和第二储罐实现了对冷凝器回收的氯硅烷进行分类和处理，并且通过两个回收塔和循环池，对尾气进行去除杂质，本实用新型不但提高了循环使用的回收氯硅烷的质量，而且保证了多晶硅的生产质量，同时提高了原料利用率，有效的节省了生产成本。