[实用新型]一种多晶硅生产尾气的回收装置

权利要求书

1. 一种多晶硅生产尾气的回收装置，包括冷凝装置、储罐、回收塔和循环池，其特征在于：冷凝装置由第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器组成，所述四个冷凝器的入口分别于尾气出口相连通，所述第一冷凝器和第二冷凝器的出口与第一储罐连接，第三冷凝器和第四冷凝器的出口与第二储罐相连接，所述第一储罐和第二储罐分别通过电磁阀与回收塔的进口相连，回收塔的出口与循环池相连，所述回收塔的洗涤液进口管路连接循环池的洗涤液出口，回收塔的洗涤液出口管路连接循环池的洗涤液进口。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产尾气的回收装置，其特征在于：所述回收塔为两个，分别为第一回收塔和第二回收塔，第一回收塔的洗涤液进口与循环池的洗涤液出口之间的管路上设有第一循环泵，第二回收塔的洗涤液进口与循环池的洗涤液出口之间的管路上设有第二循环泵。

3.根据权利要求1所述的多晶硅生产尾气的回收装置，其特征在于：所述第一储罐通过第一电磁阀与第一回收塔相连，第二储罐通过第二电磁阀与第二回收塔相连。