[实用新型]一种柱状隔垫物检查机

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种用于测量柱状隔垫物高度的柱状隔垫物检查机。

背景技术

柱状隔垫物检查机是一种利用白光干涉原理的3D非接触式纳米检测设备。测量时，先根据Recipe找到检测点，然后通过扫描器中心来对焦，测量镜头采集检测点柱状隔垫物的图像并与标准图像比对，最后通过使用特殊算法得到高度值。由于检测系统的高精密度，对检测点图像与标准图像的相似度和扫描器对焦中心要求比较高。检测点偏移较大时，检测点图像与标准图像的相似度将不匹配；扫描器中心偏离过多时会导致干涉图案的周期性偏移，严重影响测量结果的准确性。因而，检测点位置和扫描器中心的选定对干涉图案的形成和柱状隔垫物的高度测定有着重要作用。

柱状隔垫物检查机的检测内容包括CF基板上的柱状隔垫物的高度、上下表面的直径以及红绿蓝像素的高度，检测数据的精密度为1nm，设备的重现性和再现性在35nm以内。柱状隔垫物检查机的主要作用是用于监控投入成盒工艺产线的CF玻璃基板的状况，督促CF工厂提高工艺和解决不良以及通过测量柱状隔垫物的情况向液晶涂布机反馈需要滴加液晶的数量。柱状隔垫物检查机测量数据的准确性直接影响液晶涂布机滴加液晶的量和盒厚，因此，提高柱状隔垫物检查机测量数据的准确性具有很大的意义。

由于柱状隔垫物检查机测量系统的高精密度，对测量镜头采集检测点柱状隔垫物的图像与标准图像的相似度要求比较高，而这种相似度的比较依赖于检测点实际位置与Recipe中规定位置的差异。在当前生产中，当检测点实际位置与Recipe规定位置发生偏差，都是人工手动去调整。而这种手动调整既占用了生产的时间，且会因操作人员的水平和能力有较大的偏差。

由于柱状隔垫物检查机测量系统的高精密度，对扫描器对焦中心要求比较高。扫描器的扫描极限范围为0-90um，45um为扫描器的最佳扫描位置；测量时，扫描器会在对焦中心±1/2扫描范围内波动，在扫描范围内的最佳焦点位置获取干涉图案，根据干涉图案内的强度差异确定最高点和最低点，从而确定柱状隔垫物检查机的高度。当扫描器中心偏离最佳扫描位置过大时，会导致干涉图案的周期性偏移，产生波长整数倍的数据偏差，严重影响测量结果的准确性。因而，柱状隔垫物检查机扫描器中心位置的选定对干涉图案的形成和柱状隔垫物检查机高度的测量有着十分重要的作用。在目前测量中，柱状隔垫物检查机扫描器以上张玻璃的各个测量点的扫描中心作为本张玻璃对应测量点的扫描中心。由于该种方法依赖于上张玻璃的测量状况，只有在两张玻璃的表面状况基本一致时，才不会导致扫描器对焦中心偏差最佳扫描位置过大。在实际生产中，这种玻璃间的差异是存在的，也是不容易消除的。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种柱状隔垫物检查机，实现设备水平方向、竖直方向的自动校准，提高柱状隔垫物检查机测量的准确率。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种柱状隔垫物检查机，包括：用于对柱状隔垫物进行测量的测量模块，所述柱状隔垫物检查机还包括：

用于获取柱状隔垫物图像的图像采集模块；

用于将所述图像采集模块采集的图像与标准图像进行比对、获取柱状隔垫物测量位置与预设位置在Z轴方向的偏差值，并根据所述偏差值下发测量位置修正指令的处理模块；

用于根据所述处理模块的指令对所述柱状隔垫物测量位置进行修正的位置修正模块，所述位置修正模块与所述处理模块连接。

进一步的，所述位置修正模块包括与所述图像采集模块连接的电容式位置传感器。

进一步的，所述电容式位置传感器包括动极板和静极板，所述动极板与所述图像采集模块连接，其中，所述动极板和所述静极板具有第一状态和第二状态；

所述第一状态包括所述动极板在所述图像采集模块的带动下移动到第一位置，使得所述图像采集模块的测量位置位于定位精度范围内；

所述第二状态包括所述动极板在处理模块的控制下回位，并带动所述图像采集模块的测量位置回位。

进一步的，所述图像采集模块包括用于获取柱状隔垫物的图像的扫描器，所述扫描器与所述动极板连接。

进一步的，所述图像采集模块还包括：

用于采集第一干涉图形的图像采集镜头单元；

用于接收所述图像采集镜头模块发送的将所述第一干涉图形，并将所述第一干涉图形发送至所述扫描器的数字摄像头单元；

所述扫描器用于扫描采集第二干涉图形、并将所述第一干涉图形和所述第二干涉图形进行合成处理形成柱状隔垫物的图像。