[实用新型]一种钎焊烧结腔室抽真空系统有效
| 申请号： | 201320372458.0 | 申请日： | 2013-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN203441709U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 卜长根;于丹;刘奉豹;胡鹏 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(北京) |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钎焊 烧结 腔室抽 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种钎焊烧结腔室抽真空系统，用于对钎焊烧结真空室(2)抽真空，其特征在于，包括：
第一泵组(I)，与所述真空室(2)通过管路相连，包括控制本泵组的真空阀(3)和与之连接的喷射泵(4)、离心泵(7)和水箱(5)；
第二泵组(II)，与所述真空室(2)相连，包括钎焊烧结炉上的真空泵和控制这一抽真空泵组的真空阀(8)；
第一泵组和第二泵组是并联后连接到真空腔室的，且两个管路不同时参与抽真空工作。
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