[实用新型]一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种制备薄膜和喷涂图案的设备，尤其涉及一种利用喷雾燃烧方法制备薄膜和喷涂图案的设备。

背景技术

薄膜制备的方法有很多种，如溶胶凝胶法、化学气相沉积、金属有机盐沉积等化学方法，还包括液相外延，溅射、蒸发等物理方法，现在还常用一种喷雾热分解法来制备薄膜，这种方法使用如附图1所示的设备，用这种方法制备薄膜时，将配制好的溶液经压缩空气雾化器101雾化后，在载流气体的带动下，通过喷嘴102喷进放置有被加热基板103的容器中，使雾化体经电热丝104烘烤后挥发去溶剂并一步分解沉积在基板上成膜，在基板上获得光洁明亮的薄膜。

上述方法在制备薄膜的过程中，存在下述问题：由于喷雾成膜的过程为一层层逐渐进行，因此导致最后形成的薄膜厚度不均匀，常常出现中间部分已经达到厚度要求，而薄膜周边的厚度却未达到要求，因此上述的喷雾热分解设备无法制备出厚度均匀的薄膜。

中国发明专利《火焰喷雾热分解薄膜制备设备》，申请号为200710304423.2，授权公告号为CN100585001C，公开了一种火焰喷雾热分解薄膜制备设备，该设备可以直接将制备薄膜的材料用火焰燃烧喷射的方式，喷射到衬底上，以方便快速的制备厚度均匀的薄膜，解决了现有技术的喷雾热分解设备无法制备出厚度均匀的薄膜的问题。但是，上述的火焰喷雾热分解薄膜制备设备，火焰喷嘴与衬底只能在坐标系中Y方向上形成相对移动，导致上述的设备制备出的薄膜厚度均匀性无法满足高精度的要求；上述的设备只能在耐热程度较好的衬底（如陶瓷、金属和玻璃）上制备薄膜，一旦在耐热程度较低的衬底（如塑料和纸）上制备薄膜，会导致衬底烧毁，无法制备；上述的设备无法在衬底上喷涂形成图案。另外，上述的设备是通过火焰喷嘴喷出燃料燃烧，将从喷雾口中喷出的薄膜材料经出焰口的高温火焰分解后喷射到衬底上形成薄膜的，导致薄膜材料分解不彻底，影响了制备出的薄膜的质量。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，该设备制备出的薄膜质量好，厚度均匀性精度高，且能够在耐热程度较低的衬底上制备薄膜，该设备又能够在衬底上喷涂形成图案。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置，所述外罩内部为沉积室，所述下平台设置在外罩底部中央，所述衬底设置在下平台上，所述喷雾燃烧装置设置在衬底上方，所述外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔，所述抽气装置与抽气孔相连，所述抽气装置设置在外罩外，所述衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上；所述喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方；所述外罩外设有控制装置；所述控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动方向和移动速度。

优选的，所述移动装置为移动平台。

优选的，所述移动平台为传输带或者滑台。

优选的，所述移动调整装置包括水平移动调整装置和竖直移动调整装置；所述水平移动调整装置控制喷雾燃烧装置在沉积室内水平移动；所述竖直移动调整装置控制喷雾燃烧装置在沉积室内竖直运动。

优选的，所述水平移动调整装置包括竖直支架、水平导轨和滑台；所述竖直支架设有两个，对称设置在沉积室内；所述两竖直支架间设有水平导轨；所述水平导轨上设有可沿水平导轨左右移动的滑台；所述滑台通过竖直移动调整装置与喷雾燃烧装置相连接。

优选的，所述喷雾燃烧装置包括火焰喷嘴、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、压缩助燃气体进气管、压缩助燃气体供给装置、助燃气性体进气管、助燃性气体供给装置、可燃性气体进气管和可燃性气体供给装置；所述可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接，向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物；所述可燃液态前驱物进料管与火焰喷嘴相连接；所述压缩助燃气体供给装置与压缩助燃气体进气管相连接，向压缩助燃气体进气管内通入压缩助燃气体；所述压缩助燃气体进气管与火焰喷嘴相连接；所述压缩助燃气体进气管的出气口围绕可燃液态前驱物进料管的喷口呈环状分布；所述助燃性气体供给装置与助燃性气体进料管相连接，向助燃性气体进料管内通入助燃性气体；所述可燃性气体供给装置与可燃性气体进料管相连接，向可燃性气体进料管内通入可燃性气体；所述助燃性气体进气管和可燃性气体进气管相连接，形成连接管；所述连接管与火焰喷嘴相连接；所述连接管在火焰喷嘴内至少分为两路；所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚；所述可燃液态前驱物供给装置、压缩助燃气体供给装置、助燃性气体供给装置和可燃性气体供给装置设置在外罩外。