[实用新型]一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备

权利要求书

1.一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置，所述外罩内部为沉积室，所述下平台设置在外罩底部中央，所述衬底设置在下平台上，所述喷雾燃烧装置设置在衬底上方，所述外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔，所述抽气装置与抽气孔相连，所述抽气装置设置在外罩外，其特征在于：所述衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上；所述喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方；所述外罩外设有控制装置；所述控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动方向和移动速度。

2.根据权利要求1所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述移动装置为移动平台。

3.根据权利要求2所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述移动平台为传输带或者滑台。

4.根据权利要求3所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述移动调整装置包括水平移动调整装置和竖直移动调整装置；所述水平移动调整装置控制喷雾燃烧装置在沉积室内水平移动；所述竖直移动调整装置控制喷雾燃烧装置在沉积室内竖直运动。

5.根据权利要求4所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述水平移动调整装置包括竖直支架、水平导轨和滑台；所述竖直支架设有两个，对称设置在沉积室内；所述两竖直支架间设有水平导轨；所述水平导轨上设有可沿水平导轨左右移动的滑台；所述滑台通过竖直移动调整装置与喷雾燃烧装置相连接。

6.根据权利要求1～5之一所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述喷雾燃烧装置包括火焰喷嘴、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、压缩助燃气体进气管、压缩助燃气体供给装置、助燃性气性体进气管、助燃性气体供给装置、可燃性气体进气管和可燃性气体供给装置；所述可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接，向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物；所述可燃液态前驱物进料管与火焰喷嘴相连接；所述压缩助燃气体供给装置与压缩助燃气体进气管相连接，向压缩助燃气体进气管内通入压缩助燃气体；所述压缩助燃气体进气管与火焰喷嘴相连接；所述压缩助燃气体进气管的出气口围绕可燃液态前驱物进料管的喷口呈环状分布；所述助燃性气体供给装置与助燃性气体进料管相连接，向助燃性气体进料管内通入助燃性气体；所述可燃性气体供给装置与可燃性气体进料管相连接，向可燃性气体进料管内通入可燃性气体；所述助燃性气体进气管和可燃性气体进气管相连接，形成连接管；所述连接管与火焰喷嘴相连接；所述连接管在火焰喷嘴内至少分为两路；所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚；所述可燃液态前驱物供给装置、压缩助燃气体供给装置、助燃性气体供给装置和可燃性气体供给装置设置在外罩外。

7.根据权利要求1～5之一所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述喷雾燃烧装置包括火焰喷嘴、加热雾化装置、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、助燃性气体进气管、助燃性气体供给装置、可燃性气体进气管和可燃性气体供给装置；所述可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接，向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物；所述可燃液态前驱物进料管通过加热雾化装置与火焰喷嘴相连接；所述助燃性气体供给装置与助燃性气体进料管相连接，向助燃性气体进料管内通入助燃性气体；所述可燃性气体供给装置与可燃性气体进料管相连接，向可燃性气体进料管内通入可燃性气体；所述助燃性气体进气管和可燃性气体进气管相连接，形成连接管；所述连接管与火焰喷嘴相连接；所述连接管在火焰喷嘴内至少分为两路；所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚；所述可燃液态前驱物供给装置、助燃性气体供给装置和可燃性气体供给装置设置在外罩外。

8.根据权利要求7所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述喷雾燃烧装置还包括保护性气体进气管和保护性气体供给装置；所述保护性气体供给装置与保护性气体进气管相连接，向保护性气体进气管内通入保护性气体；所述保护性气体进气管与火焰喷嘴相连接；所述保护性气体进气管的出气口围绕可燃液态前驱物进料管的喷口呈环状分布；所述保护性气体供给装置设置在外罩外。

9.根据权利要求8所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述可燃液态前驱物进料管、压缩助燃气体进气管、助燃气体进气管、可燃气体进气管和保护性气体进气管上设有流速控制装置。

10.根据权利要求8或9所述的喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，其特征在于：所述保护性气体为惰性气体。