[实用新型]电子枪坩埚的水冷装置有效
| 申请号： | 201320287213.8 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203307424U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 袁永旭 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子枪 坩埚 水冷 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子枪坩埚的水冷装置，其特征在于，包括：
坩埚、坩埚托、出水口和进水孔；其中，
所述坩埚设置在坩埚托上，坩埚与坩埚托之间设成环形水道，所述环形水道沿所述坩埚外壁内设置；
所述出水口设置在所述坩埚托的中间部位，与所述环形水道的出水口连通；
所述进水孔设置在所述坩埚托的边缘处，与所述环形水道连通。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进水孔为多个，沿所述坩埚托的边缘处均匀分布，各进水孔均与所述环形水道连通。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述进水孔为三个。
4.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，还包括：隔水板，设置在与所述出水口连接的所述环形水道内，使连接所述出水口的一段环形水道的出水处与所述坩埚的顶壁相接触。
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