[实用新型]光罩盒

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体制造工艺过程中辅助设备领域，具体涉及一种光罩盒。

背景技术

近年来电子产品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展，而欲满足这个产品发展的方向，用于电子产品中的核心半导体元件或液晶显示元件的芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化与具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化。芯片上集成电路线径的微细化的成败主要在于半导体工艺中的黄光微影工艺技术，其关键设备是在于光罩（photo mask）。在半导体应用中，将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的的光罩，然后利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆即可曝光显示特定图案。

由于光罩在作业环境中，存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于光罩表面，且在经长时间储存或晶圆曝光工艺的加热后，会于光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，而直接影响到光罩在黄光微影工艺中的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成半导体元件或液晶显示元件良率降低，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对上也会提高营运的成本。因此在光罩存储及运输中，光罩盒是一种重要工具，其可以有效防止光罩被污染。

但是在实际运用过程中，现有的光罩盒设计容易诱导以下问题的产生：光罩盒内的四个角落有若干坚硬且锐利的固定器，主要用于固定光罩的作用，但是在用光罩夹将光罩放进及取出光罩盒的过程中，柔软的光罩薄膜面及玻璃面容易接触到锐利的固定器，从而导致光罩破损，造成巨大浪费。因此提供一种安全性更高的光罩盒实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光罩盒，用于解决现有技术中的光罩盒在光罩放进及取出过程中容易导致破损的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光罩盒，其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖，所述盒底包括底部以及自该底部的侧边弯折延伸的第一侧墙；所述盒底的底部设有至少四个第一固定器；所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部；所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面；所述侧面与所述盒底的第一侧墙接触；所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔；所述盒盖包括顶部以及自该顶部的侧边弯折延伸的第二侧墙；所述盒盖的顶部设有至少四个第二固定器，所述第二固定器与所述第一固定器结构相同。

可选地，所述引导面为弓形面或斜面。

可选地，所述盒底为方形，其底部设有四个第一固定器，分别位于每一侧边；所述盒底上的第一固定器与所述盒盖上的第二固定器位置相对。

可选地，所述盒底为方形，其底部设有四个第一固定器，分别位于每一侧边；所述盒底上的第一固定器与所述盒盖上的第二固定器位置错开。

可选地，所述盒底上的第一固定器的高度与所述盒底的第一侧墙高度相等；所述盒盖上的第二固定器的高度与所述盒盖的第二侧墙高度相等。

可选地，所述第一、第二固定器的材料包括具弹性的塑料。

如上所述，本实用新型的光罩盒，具有以下有益效果：光罩盒盒盖及盒底内均设有至少四个固定器，所述固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部，所述引导部具有一弓形引导面或斜面引导面，所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔。本实用新型的光罩盒的固定器的引导面与光罩采用面接触式，在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒内左右移动的同时，还避免了在光罩放进及取出光罩盒时柔软的光罩薄膜面被划伤；本实用新型的光罩盒的盒盖及盒底均设有固定器，所述固定器的支撑台阶支撑光罩的边缘，使得无论光罩盒正放或倒放均能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接触光罩盒顶面或底面而造成破损；本实用新型的光罩盒盒内的固定器数目较少，可以节约光罩盒的制造成本。

附图说明

图1显示为本实用新型的光罩盒内装有光罩且盒盖打开时的结构示意图。

图2显示为本实用新型的光罩盒的具有弓形引导面的第一固定器的结构示意图。

图3显示为本实用新型的光罩盒的具有斜面引导面的第一固定器的结构示意图。

元件标号说明

1盒底

11底部

12第一侧墙

13第一固定器

131支撑台阶

132引导面

2盒盖

21顶部

22第二侧墙

23第二固定器

3光罩

具体实施方式