[实用新型]一种开关装置和刻蚀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及开关装置技术领域，尤其涉及一种开关装置和刻蚀装置。

背景技术

现有的显示面板制备过程中，基板的湿法刻蚀工艺所应用的湿法刻蚀装置共有3个刻蚀区，在每两个刻蚀区之间均设置有开关装置，如图1所示，所述开关装置可将两个刻蚀区互相隔开(图1仅示出开关一侧的刻蚀区)，且作为基板进入和离开刻蚀区的入口和出口。所述开关装置包括：气缸1、与气缸1相连的拉杆2、与拉杆2活动相连的滑动拉板3、开关盒4、所述滑动拉板3上设置有两个个滑轨5，所述开关盒4上与所述滑轨5对应位置处设置有两个轴承6，所述滑动拉板3通过所述两个滑轨5与所述两个轴承6之间的滑动连接与所述开关盒4相连，在接近所述开关盒4的底部位置设置有基板入口7。

如图1所示，所述开关装置通过所述开关盒4的上、下两侧以及左、右两侧固定在两个刻蚀区之间，所述开关盒4的前后位置均为刻蚀区8(开关盒后部未示出)。在刻蚀区8中对基板进行刻蚀时，所述滑动拉板3关闭，即处于图1所示状态，这样，所述开关可隔挡刻蚀区8中的刻蚀液和酸气流出。当基板需要从一个刻蚀区8进入到另一个刻蚀区8时，所述气缸1通过拉杆2拉动滑动拉板3运动，即：所述滑动拉板3通过滑轨5围绕轴承6的滑动连接向上移动，基板入口7完全打开时，所述轴承6位于滑轨5的底部位置，这时，基板可通过所述基板入口7从一个刻蚀区8水平移动到另一刻蚀区8。由于长时间运动及摩擦，滑轨5上的轴承6会损坏，即使气缸正常运动，滑动拉板3的一端也可能没有被完全拉起，这样，滑动拉板3处于倾斜状态，则基板入口7没有完全打开，此时，基板从基板入口7通过时，基板表面将会碰到滑动拉板3，基板表面被划伤，从而降低显示面板的良品率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种开关装置和刻蚀装置，可解决因开关上的基板入口没有完全打开造成的基板表面被划伤的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型提供了一种开关装置，包括：气缸、开关盒和开关盒上设置的基板入口；所述开关装置还包括：与所述开关盒底部相连的用于遮挡所述基板入口的推拉板、与所述推拉板相连的拉动杆、用于与所述拉动杆和气缸相结合控制所述推拉板的开启和关闭的推动杆；

所述开关装置还包括：位于所述开关盒底部的至少一个与报警装置相连的第一复位传感器，所述推拉板完全开启时压在所述第一复位传感器上。

其中，所述开关装置包括至少两根拉动杆与所述推动杆活动连接。

其中，所述拉动杆与所述推拉板上朝向所述开关盒的一面的两侧相连。

上述方案中，所述推动杆与所述气缸中的活塞相连接，

所述推拉板关闭时，所述推动杆位于远离所述基板入口、且远离所述开关盒设置有推拉板一面的位置；所述推拉板开启时，所述推动杆位于靠近所述基板入口、且靠近所述开关盒设置有推拉板一面的位置。

优选的，所述推拉板枢接于所述开关盒的底部。

优选的，所述开关盒朝向所述推拉板的一面还设有至少一个与报警装置相连的第二复位传感器。

其中，所述推拉板完全关闭时压在所述第二复位传感器上。

其中，所述第一复位传感器和所述第二复位传感器为点触摸感应器、或磁感应传感器。

进一步地，所述气缸底部和顶部各设有一个检测活塞运动位置的传感器。

本实用新型还提供了一种刻蚀装置，所述刻蚀装置包括多个刻蚀区，每两个相邻刻蚀区之间均设置有开关装置；所述开关装置为上文所述的开关装置。

本实用新型提供的开关装置和刻蚀装置，设置与所述开关装置的开关盒底部相连的可开启和关闭的推拉板代替现有的滑动拉板，所述推拉板通过拉动杆与推动杆的结合与气缸相连；在所述开关盒底部设置至少一个与报警装置相连的第一复位传感器，所述推拉板完全开启时，推拉板压在所述与报警装置相连的第一复位传感器上。本实用新型中，所述推拉板没有完全开启时，即基板入口没有完全打开时，所述报警装置将会报警，因此可避免基板与推拉板相碰撞，同样也就可避免基板表面被划伤。

此外，本实用新型开关装置的开关盒朝向所述推拉板的一面还设置至少一个与报警装置相连的第二复位传感器，所述推拉板完全关闭时，推拉板压在所述与报警装置相连的复位传感器上，当推拉板没有压在所述第二复位传感器上时，报警装置就会报警，因此，本实用新型可保证对基板进行刻蚀时，刻蚀区中的刻蚀液和酸气不会流出。

附图说明

图1为现有两个刻蚀区之间设置的开关装置结构示意图；