[实用新型]一种开关装置和刻蚀装置有效
| 申请号： | 201320239994.3 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN203260555U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 孙文昌 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 王黎延;张振伟 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 开关 装置 刻蚀 | ||
1.一种开关装置，包括：气缸、开关盒和开关盒上设置的基板入口；其特征在于，所述开关装置还包括：与所述开关盒底部相连的用于遮挡所述基板入口的推拉板、与所述推拉板相连的拉动杆、用于与所述拉动杆和气缸相结合控制所述推拉板的开启和关闭的推动杆；
所述开关装置还包括：位于所述开关盒底部的至少一个与报警装置相连的第一复位传感器，所述推拉板完全开启时压在所述第一复位传感器上。
2.根据权利要求1所述的开关装置，其特征在于，所述开关装置包括至少两根拉动杆与所述推动杆活动连接。
3.根据权利要求2所述的开关装置，其特征在于，所述拉动杆与所述推拉板上朝向所述开关盒的一面的两侧相连。
4.根据权利要求1-3任一项所述的开关装置，其特征在于，所述推动杆与所述气缸中的活塞相连接，
所述推拉板关闭时，所述推动杆位于远离所述基板入口、且远离所述开关盒设置有推拉板一面的位置；所述推拉板开启时，所述推动杆位于靠近所述基板入口、且靠近所述开关盒设置有推拉板一面的位置。
5.根据权利要求1-3任一项所述的开关装置，其特征在于，所述推拉板枢接于所述开关盒的底部。
6.根据权利要求1-3任一项所述的开关装置，其特征在于，所述开关盒朝向所述推拉板的一面还设有至少一个与报警装置相连的第二复位传感器。
7.根据权利要求6所述的开关装置，其特征在于，所述推拉板完全关闭时压在所述第二复位传感器上。
8.根据权利要求6所述的开关装置，其特征在于，所述第一复位传感器和所述第二复位传感器为点触摸感应器、或磁感应传感器。
9.根据权利要求1-3任一项所述的开关装置，其特征在于，所述气缸底部和顶部各设有一个检测活塞运动位置的传感器。
10.一种刻蚀装置，所述刻蚀装置包括多个刻蚀区，每两个相邻刻蚀区之间均设置有开关装置；其特征在于，所述开关装置为权利要求1-9中任一项所述的开关装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
