[实用新型]一种挡板及镀膜机有效
申请号: | 201320198648.5 | 申请日: | 2013-04-18 |
公开(公告)号: | CN203238324U | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 王世武;贾玉昌 | 申请(专利权)人: | 青岛海泰光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/46 | 分类号: | C23C14/46 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 郑自群 |
地址: | 266107 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 挡板 镀膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及镀膜机领域,特别是指一种挡板及镀膜机。
背景技术
现代科学技术与生产中,光学系统被广泛应用于各种生产技术中去,其中的光学镀膜占有重要地位,光学镀膜是要把膜料均匀的镀制到基板表面上,其中均匀性挡板的作用就是要使膜料均匀沉积,其中离子束溅射镀膜方式因为膜料溅射面与沉积面距离近,均匀性尤难调整,如图1所示,常规调整方式才用长条状均匀性挡板,反复验证的方式调整,但由于长条装挡板结构简单,导致易出现断裂问题。
实用新型内容
本实用新型提出一种挡板及镀膜机,解决了现有技术中挡板易出现断裂问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的:
一种挡板,包括:
用于与镀膜机进行固定的固定柄,包括第一边;用于改变镀膜机内蒸汽的均匀性,使蒸汽化的镀料能够均匀分布在基板上的挡体,与固定柄连接在一起;第二边;
第一边与第二边的相交处形成楔角,楔角具体在6°~20°之间。
作为进一步的技术方案,还包括:
用于通过固定件与镀膜机固定的固定孔,设置在固定柄上。
作为进一步的技术方案,还包括:
用于在固定柄固定时进行定位的定位孔,设置在固定柄上。
优选的,楔角具体为13°。
本实用新型还公开了一种镀膜机,包括真空腔室和控制组件,还包括的挡板,固定柄设置在真空腔室内壁上。
本实用新型技术方案通过通过设置的固定柄与镀膜机固定在一起,并且通过挡体能够使得镀膜机内部的蒸汽镀料能够均匀的分布在被镀膜的基板上,其中,第一边和第二边设置的楔角,通过楔角的设计,使得固定柄与挡体之间的连接处更宽,进而能够在保证均匀分布的前提下,使得挡板的使用寿命得到增加。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中长条装挡板的结构示意图;
图2为本实用新型一种挡板的结构示意图。
图中:
1、固定柄;2、挡体;3、固定孔;4、定位孔;5、第一边;6、第二边;7、楔角。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图2所示,本实用新型的一种挡板,包括:
用于与镀膜机进行固定的固定柄1,包括第一边5;用于改变镀膜机内蒸汽的均匀性,使蒸汽化的镀料能够均匀分布在基板上的挡体2,与固定柄1连接在一起;第二边6;
第一边5与第二边6的相交处形成楔角6,楔角6具体在6°~20°之间。
通过通过设置的固定柄1与镀膜机固定在一起,并且通过挡体2能够使得镀膜机内部的蒸汽镀料能够均匀的分布在被镀膜的基板上,其中,第一边5和第二边6设置的楔角6,通过楔角6的设计,使得固定柄1与挡体2之间的连接处更宽,进而能够在保证均匀分布的前提下,使得挡板的使用寿命得到增加。
本实用新型的一个实施例中,固定柄1设置在镀膜机内部,且在固定柄1上设置有第一边5,挡体2与固定柄1一端连接,且在挡体2上设置第二边6,其中通过第一边5和第二边6组成楔角6,通过楔角6增大固定柄1与挡体2的连接处宽度,使得挡体2强度得到增加,进而不易出现断裂的问题,其中,楔角6在6°~20°之间时,挡板的强度最大,本实施例中优选的将楔角6设置为13°。
本实用新型的另一个实施例中,作为进一步的技术方案,还包括:
用于通过固定件与镀膜机固定的固定孔3,设置在固定柄1上。
固定柄1可以通过焊接的方式与镀膜机进行固定,但是通过焊接的方式进行固定如果出现耗损等问题,对挡板的拆除相对复杂,因此本实用新型中优选的在固定柄1上设置固定孔3,优选的设置两个固定孔3,以防止固定柄1出现旋转的可能性;通过螺栓穿过固定孔3进而将挡板与镀膜机进行固定。
本实用新型的再一个实施例中,作为进一步的技术方案,还包括:
用于在固定柄1固定时进行定位的定位孔4,设置在固定柄1上。
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