[实用新型]一种挡板及镀膜机有效
| 申请号： | 201320198648.5 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN203238324U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王世武;贾玉昌 | 申请（专利权）人： | 青岛海泰光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 266107 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 挡板 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种挡板，其特征在于，包括：
用于与镀膜机进行固定的固定柄（1），包括第一边（5）；用于改变镀膜机内蒸汽的均匀性，使蒸汽化的镀料能够均匀分布在基板上的挡体（2），与所述固定柄（1）连接在一起；第二边（5）；
所述第一边（5）与所述第二边（5）的相交处形成楔角（6），所述楔角（6）具体在6°～20°之间。
2.如权利要求1所述的挡板，其特征在于，还包括：
用于通过固定件与镀膜机固定的固定孔（3），设置在所述固定柄（1）上。
3.如权利要求2所述的挡板，其特征在于，还包括：
用于在所述固定柄（1）固定时进行定位的定位孔（4），设置在所述固定柄（1）上。
4.如权利要求1所述的挡板，其特征在于，所述楔角（6）具体为13°。
5.一种镀膜机，包括真空腔室和控制组件，其特征在于，还包括如权利要求1-4任一项所述的挡板，所述固定柄（1）设置在所述真空腔室内壁上。
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