[实用新型]电子显微镜样品盒有效
| 申请号： | 201320176206.0 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN203287233U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 高林;史燕萍 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子显微镜样品盒，包括样品支撑底座，以及设置在所述样品支撑底座上的样品存放单元，其特征在于，相邻设置在所述样品支撑底座上的样品存放单元之间设置槽口，且所述槽口的开口间距小于所述槽口所在存放单元之侧边的距离。
2.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其特征在于，所述电子显微镜样品盒的样品存放单元内进一步设置栅格铜网，并在所述栅格铜网上铺展碳膜。
3.如权利要求1所述的电子显微镜样品盒，其特征在于，所述槽口的开口间距为2mm。
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