[实用新型]基于对合并式MEMS加速计传感器斩波的电子电路有效

专利信息
申请号: 201320171757.8 申请日: 2013-04-08
公开(公告)号: CN203261317U 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 乔纳森·亚当·克莱克斯;约恩·奥普里斯;贾斯廷·森 申请(专利权)人: 快捷半导体(苏州)有限公司;快捷半导体公司
主分类号: H03M3/04 分类号: H03M3/04
代理公司: 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人: 武晨燕;张颖玲
地址: 215021 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 基于 合并 mems 加速 传感器 电子电路
【权利要求书】:

1.一种电子电路,包括: 

电容-电压转换电路,被配置为电连接到微机电系统MEMS传感器电路,所述电容-电压转换电路包括: 

差分斩波电路通路,被配置为接收差分MEMS传感器输出信号并对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;以及 

差分sigma-delta模数转换器ADC电路,被配置为对所述差分MEMS传感器输出信号进行采样并提供表示所述MEMS传感器电路中电容变化的数字信号。 

2.根据权利要求1所述的电子电路,其中, 

所述差分sigma-delta ADC电路包括比较器电路;以及 

所述电子电路进一步包括伪随机噪声发生电路,所述伪随机噪声发生电路电连接到所述比较器电路且被配置为将抖动噪声加至所述比较器电路的输入端。 

3.根据权利要求1所述的电子电路,该电子电路进一步包括斩波时钟电路,所述斩波时钟电路被配置为向所述差分斩波电路通路提供伪随机时钟信号。 

4.根据权利要求1所述的电子电路,其中, 

所述差分sigma-delta ADC电路包括运算放大器opamp电路;以及 

所述电子电路进一步包括: 

第一斩波开关矩阵电路,被配置为在所述opamp电路的输入端对所述差分斩波电路通路的极性进行反转;以及 

第二斩波开关矩阵电路,被配置为在所述opamp电路的输出端对所述差分斩波电路通路的极性进行反转。 

5.根据权利要求4所述的电子电路,该电子电路进一步包括: 

第三斩波开关矩阵电路,被配置为转换所述差分sigma-delta ADC电路中差分反馈电路通路的极性,以及 

其中,所述差分反馈电路通路从所述第二斩波开关矩阵电路的输出端延伸到所述第三斩波开关矩阵电路的输入端。 

6.根据权利要求4所述的电子电路,该电子电路进一步包括差分反馈电路通路,所述差分反馈电路通路从所述第二斩波开关矩阵电路的输出端延伸到所述第一斩波开关矩阵电路的输入端。 

7.根据权利要求4所述的电子电路,该电子电路进一步包括: 

相位时钟电路,被配置为产生第一运算时钟相位和第二运算时钟相位, 

其中,在所述第一运算时钟相位期间,所述第一斩波开关矩阵电路被配置为将所述MEMS传感器电路与所述差分sigma-delta ADC电路电隔离;以及 

其中,在所述第二运算时钟相位期间,所述第一斩波开关矩阵电路和所述第二斩波开关矩阵电路被配置为将所述差分斩波电路通路的极性进行反转。 

8.根据权利要求7所述的电子电路,该电子电路进一步包括: 

电连接于所述MEMS传感器电路的驱动电路, 

其中,所述驱动电路被配置为将方波激励信号加至所述MEMS传感器电路的驱动输入端;以及 

其中,所述第一运算时钟相位和所述第二运算时钟相位具有与所述方波激励信号相同的频率和占空比。 

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子电路,该电子电路进一步包括所述MEMS传感器电路,其中,所述MEMS传感器电路被配置为响应于第一方向上的线性加速度而改变电容。 

10.一种电子电路,包括: 

电容-电压转换电路,被配置为电连接到MEMS传感器电路,所述电容-电压转换电路包括: 

差分电路通路,被配置为接收差分MEMS传感器输出信号; 

差分sigma-delta ADC电路,被配置为对所述差分MEMS传感器输出信号进行采样并提供表示所述MEMS传感器电路中电容变化的数字信号,其中,所述差分sigma-delta ADC电路包括比较器电路;以及 

伪随机噪声发生电路,电连接到所述比较器电路且被配置为将抖动噪声加至所述比较器电路的输入端。 

11.根据权利要求10所述的电子电路,该电子电路进一步包括MEMS传感器电路,其中,所述MEMS传感器电路被配置为响应于第一方向上的线性加速度而改变电容。 

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