[实用新型]一种小角和广角X射线散射联用装置

权利要求书

1.一种小角和广角X射线散射联用装置，其特征在于：包括微焦点X射线光源（1），三个四刀口狭缝准直光路（2），一维线性探测器（3），二维多丝气体探测器（4），真空管道（5），样品台（6），水平导轨（7）和Labview软件控制系统及数据采集系统（8），其中：

微焦点X射线光源（1）产生平行的、高亮度的X射线光，而后经三个四刀口狭缝准直光路（2）定义所需要的光斑大小和滤掉杂散光，光斑从准直光路出来后采用透射模式穿过样品，一维线性探测器（3）采集样品在大角度的散射信号，即晶体结构对应的散射信号；二维多丝气体探测器（4）采集样品在小角度的散射信号，即纳米尺度的有序结构对应的散射信号，二维多丝气体探测器（4）前固定一直通光阻挡器，用来吸收高亮度的直通光，防止直通光损伤探测器；真空管道（5）由宽角管道和小角管道两部分组成，宽角管道部分连接可旋转的弧形环，用于固定一维线性探测器；小角管道部分直接与二维多丝气体探测器连接；真空管道（5）的前后支撑部分均有旋转结构，便于上下、左右及倾角的调节；实验测试过程中所述的狭缝准直光路（2）和真空管道（5）都采用真空油泵抽真空，尽可能减小空气的吸收和散射；样品台（6）和真空管道（5）的支撑结构均有二维位移平台组成，该装置整体安装在水平导轨（7）上，便于安装调节；狭缝准直光路电机、样品台电机和真空管道支撑结构电机均由Labview软件系统及数据采集系统（8）集成控制；一维线性探测器（3）采集样品在大角度的散射信号以及二维多丝气体探测器（4）采集样品在小角度的散射信号送至Labview软件系统及数据采集系统（8）进行处理。

2.如权利要求1所述的小角和广角X射线散射联用装置，其特征在于，所述的微焦点X射线光源（1）为高亮度、高平行度微焦点X射线光源。

3.如权利要求1所述的小角和广角X射线散射联用装置，其特征在于，三个四刀口狭缝准直光路（2）每个狭缝的大小连续可调，满足不同光通量和测量尺度的要求，狭缝的调节精度为1μm。

4.如权利要求1所述的小角与广角X射线散射联用装置，其特征在于，宽角真空管道开设Kapton窗口，尽量使小角散射检测的最大角度与广角散射检测的最小角度靠近，减小两个检测中间漏掉的空隙；广角X射线散射探测器到样品的距离可调，满足不同角度范围和分辨率的需要，探测器固定在一个以直通光中心为圆心的圆弧上，可以调节整个探测器到直通光的距离，用于检测更大范围的角度；为了能检测赤道和经线方向的信号，探测器可以绕直通光中心旋转。

5.如权利要求1所述的小角与广角X射线散射联用装置，其特征在于，二维多丝气体探测器（4）直接与真空管道（5）连接，不再设置额外窗口，减小窗口带来的吸收和散射。

6.如权利要求1所述的小角与广角X射线散射联用装置，其特征在于真空管道（5）大小可调，满足不同角度如小角或中小角的测试要求。

7.如权利要求1所述的小角与广角X射线散射联用装置，其特征在于，直通光阻挡器大小可调，直通光阻挡器可放置于探测器边缘，只检测1/4散射区，如此可检测接近两倍的角度范围。

8.如权利要求1所述的小角与广角X射线散射联用装置，其特征在于，真空管道（5）和样品台（6）置于水平导轨（7）上，便于安装调试。

9.如权利要求1所述的小角与广角X射线散射联用装置，其特征在于，样品台（6）置于空气中，便于和各种原位装置安装联用。