[实用新型]真空镀膜玻璃的夹具有效

专利信息
申请号: 201320171158.6 申请日: 2013-04-08
公开(公告)号: CN203159704U 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 关长文 申请(专利权)人: 关长文
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/22
代理公司: 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 代理人: 王琪
地址: 233010 安徽省蚌埠市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 玻璃 夹具
【说明书】:

技术领域

实用新型提供一种夹具,特别是提供一种真空镀膜玻璃的夹具。

背景技术

玻璃真空镀膜技术目前已得到广泛应用。该技术是在高温真空条件下,将Si和氧化铟锡(ITO)等靶材以离子气体的形式,冲击到玻璃表面以实现镀膜。

在镀膜生产线内,通过玻璃夹具夹持相应尺寸的玻璃基片,并让玻璃基片待镀膜的相应表面朝着镀膜生产线内的工艺气管出风口方向,即可进行镀膜。

现有夹具存在以下缺陷:

1、该夹具为固定夹持方式,一种规格的该夹具只能用来夹持特定高度的玻璃基片,当玻璃基片的高度发生较大变化时,只能同步更换与玻璃基片相配套的该夹具,故该夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较窄;

2、镀膜过程中,玻璃基片遇高温而膨胀,但因受制于该夹具的约束和限制,使得玻璃基片的膨胀需求无法得到满足、易胀裂; 

3、该夹具的结构不尽合理,镀膜后,留在玻璃基片上的夹具印痕的面积较大,这样,就减少了玻璃基片的有效使用面积。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空镀膜玻璃的夹具,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广,镀膜过程中玻璃基片不易胀裂。

为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种真空镀膜玻璃的夹具,它包括左立柱、右立柱、至少一组夹持装置,每组夹持装置包括上下水平布置且相互平行的第一横杆和第二横杆,左立柱、右立柱相互平行;

第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接,且使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向发生位移,第一横杆上有开口向下的第一槽,第一槽的槽长走向与第一横杆的杆长走向相一致;

第二横杆的两端与左立柱和右立柱固接,第二横杆有开口向上的第二槽,第二槽的槽长走向与第二横杆的杆长走向相一致;

第二槽与第一槽在位置上相对应。

为简洁说明问题起见,以下对本实用新型所述真空镀膜玻璃的夹具均简称为本夹具。

采用本夹具夹持玻璃基片时,先根据玻璃基片的尺寸,使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向向上位移,再将玻璃基片的下侧插入第二槽中,最后使得第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向向下位移,直至玻璃基片的上侧插入第一槽中(即第一横杆卡合在玻璃基片的上侧),这样,将玻璃基片夹持在开口相对的第一槽和第二槽内,载有玻璃基片的本夹具可进入镀膜生产线内,以实施后续的镀膜作业。

本夹具为非固定的夹持方式,根据玻璃基片的高度变化,通过灵活调节第一横杆在左立柱和右立柱上的具体高低位置,可达到夹持不同高度玻璃基片、使玻璃基片定位的目的,一物多用,这样,无须频繁地更换本夹具。因此,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广。

镀膜过程中,玻璃基片遇高温而膨胀,可随之推动第一横杆沿左立柱和右立柱的高度方向向上位移(因第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接),以增大第一横杆和第二横杆之间的距离(即该距离可随玻璃基片的膨胀而自动得到相应调整,能够自动地与玻璃基片的高度进行匹配适应),玻璃基片不会与两个横杆发生挤压、不再受制于本夹具的约束和限制,本夹具不会对玻璃基片施加过大的挤压力,玻璃基片得到较好地保护,这样,玻璃基片膨胀后的相应需求可得到满足、镀膜过程中不易胀裂。

综上所述,本夹具夹持玻璃基片的适应高度范围较广,镀膜过程中玻璃基片不易胀裂。

另,本夹具的结构简单、易于安装、夹持性能好。

所述左立柱和右立柱上均至少有一个前后贯通对应柱体且呈倒置L形的位移用孔,每个位移用孔由水平通孔和竖直通孔连通而成,两个位移用孔在位置上相对应,且两个水平通孔的孔长走向相一致;

第一横杆的两端各通过一组连接件与左立柱和右立柱挂接,每组连接件由依次贯穿第一横杆相应端头和相应位移用孔的位移螺栓、旋装在位移螺栓螺纹端上的螺母组成,每一位移螺栓与相应位移用孔间隙配合,每一螺母与相应立柱呈非接触状态。

通过上述简单合理的连接结构形式,使得第一横杆的两端与左立柱和右立柱活络连接,且使得第一横杆可沿左立柱和右立柱的高度方向发生位移。

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