[实用新型]能提升长晶炉加料量的炉腔环有效
申请号: | 201320071194.5 | 申请日: | 2013-02-07 |
公开(公告)号: | CN203080111U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 黄志伟;王兴邦;邵任民;刘安钧 | 申请(专利权)人: | 昱成光能股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提升 长晶炉加 料量 炉腔环 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种长晶炉,特别是涉及一种能提升长晶炉加料量的炉腔环。
背景技术
在太阳能多晶硅产业的生产晶碇流程中,需先将硅料放置在石英坩埚后,再送入多晶炉中生产晶碇。但是因为受限于多晶炉腔与相对应搭配的热场设计,使得一次投料量无法有效提升,进而无法降低长晶生产成本。因此,如何提升一次投料量的技术便成为有效降低长晶成本的重要一环。
然而,一般长晶业者都是以改变加料手法或是变更热场设计来提升一次加料量,但是变更热场花费成本高且改变加料手法有增加长晶时汤泄的风险。
例如CN201614286用于多晶炉的二次加料装置、CN102312282多晶硅铸碇用二次加料装置、CN102527972一种高真空二次加料精密连续铸造装置等专利案,都是利用二次加料方式以提升加料量,且为了达到二次加料的目的,必须另外设置加料的设备、变更热场结构,从而导致成本偏高,以及改变加料手法可能造成长晶时汤泄的风险。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种不需要二次加料设备且制造成本低的能提升长晶炉加料量的炉腔环。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,适宜安装在一个长晶炉,该长晶炉具有一个上炉腔、一个设置在该上炉腔下方的下炉腔、一个架设在该上炉腔与该下炉腔内部的保温单元及一个设置在该保温单元内部的坩埚,该炉腔环设置在该上炉腔与该下炉腔之间且共同界定一个腔室,并包含一个对应于该上炉腔的顶壁、一个对应于该下炉腔的底壁、一个连结在该顶壁与该底壁周缘之间且相邻于该腔室的内环壁、一个连结在该顶壁与该底壁周缘之间且与该内环壁相对的外环壁、一个接设在该外环壁的进水管及一个与该进水管错开设置且接设在该外环壁的出水管,该顶壁、该底壁、该内环壁与该外环壁共同界定出一个环状冷却水道,该进水管与该出水管连通至该冷却水道。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,还包含一个环本体,该顶壁、该底壁、该内环壁与该外环壁设置于该环本体。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,还包含一个设置在该环本体的顶壁与该上炉腔之间的上防漏环。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,该上炉腔具有一个相对于该顶壁的上端面,该顶壁具有一个相对于该上端面的顶面及一个由该顶面凹设的上环槽,该上防漏环套设在该上环槽中,且使该上端面与该顶面之间保持气密。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,该下炉腔具有一个相对于该底壁的下端面、一个由该下端面凹设的下环槽及一个套设在该下环槽中的下防漏环,该底壁具有一个相对于该下端面的底面,该下防漏环能使该下端面与该底面之间保持气密。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,该上炉腔的上端面围绕产生一个上开口,该上开口具有一个第一内径,该下炉腔的下端面围绕产生一个下开口,该下开口具有一个第二内径,该炉腔环的该内环壁围绕产生一个内孔,该内孔具有一个第三内径,该第三内径与该第一内径、该第二内径相等。
本实用新型的能提升长晶炉加料量的炉腔环,该下炉腔具有数个定位孔,该炉腔环还包含数支连接于该环本体且能嵌插于所述定位孔的定位杆。
本实用新型的有益效果在于:利用该炉腔环设置在该上炉腔与该下炉腔之间,就能产生较大容积的腔室,且在不需更换较大型的上炉腔、下炉腔状况下,能藉增加该坩埚的高度,直接得到提升加料量的效果,整体制造容易、成本低、能随意拆卸。
附图说明
图1是本实用新型能提升长晶炉加料量的炉腔环一个较佳实施例的一个安装于一个长晶炉的剖视示意图;
图2是该较佳实施例的一个局部放大剖视示意图;
图3是该较佳实施例的一个立体分解示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
参阅图1与图2,本实用新型能提升长晶炉加料量的炉腔环100的一个较佳实施例,适宜安装在一个长晶炉200,该长晶炉200具有一个上炉腔210、一个设置在该上炉腔210下方的下炉腔220、一个架设在该上炉腔210与该下炉腔220内部的保温单元240及一个设置在该保温单元240内部的坩埚250。该炉腔环100设置在该上炉腔210与该下炉腔220之间。
该下炉腔220能带动该炉腔环100相对于该上炉腔210产生开启或闭合的动作,该上炉腔210具有一个相对于该炉腔环100且位于底部的上端面211及一个设置在内部的上冷却水夹层212,且该上端面211围绕产生一个上开口213,该上开口213具有一个第一内径D1。
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