[实用新型]一种蒸镀用掩模组件有效
| 申请号： | 201320032693.3 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN203159695U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀用掩 模组 | ||
1.一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，其特征在于：
所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；
所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。
2.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述支撑为中间凸起两端低的弯曲结构。
3.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述外框和所述支撑是一体成型结构或拼接结构。
4.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述外框是两组对边拼接结构或一体成型结构。
5.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述蒸镀面开口形状和所述掩模板安装面开口形状相似，且所述蒸镀面开口形状尺寸大于所述掩模板安装面开口形状尺寸。
6.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述支撑横截面为一端大于另一端的一端大一端小的结构，小端与大端之间为斜线段或过渡曲线。
7.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述外框放置所述支撑的一组对边上有缺口，所述支撑安装在所述缺口中。
8.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模组件，其特征在于，所述蒸镀用掩模组件还包括掩模板，所述掩模板是整体一块或是数量大于等于1的可分拆组合的掩模板单元构成。
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