[实用新型]用于真空炉的烧结排气结构

权利要求书

1.用于真空炉的烧结排气结构，其特征在于：包括设于真空炉顶部的烧结排气口、滑阀机械泵、罗茨泵、第一烧结管和第一阀门；第一烧结管一端和烧结排气口连接，且另一端和滑阀机械泵连接；罗茨泵设于第一烧结管上，且位于烧结排气口和滑阀机械泵之间；第一阀门设于第一烧结管上，且位于罗茨泵和烧结排气口之间，以实现控制第一烧结管的连通或闭合。 

2.如权利要求1所述烧结排气结构，其特征在于：所述第一烧结管为不锈钢材质制成的管道。 

3.如权利要求1所述烧结排气结构，其特征在于：所述第一烧结管的内径大于80mm。 

4.如权利要求1至3任意一项所述烧结排气结构，其特征在于：还包括和所述罗茨泵并联的第二烧结管；该第二烧结管的一端通过第二阀门连接所述烧结排气口，第二烧结管的另一端通过第三阀门连接所述滑阀机械泵；所述第一烧结管的一端通过所述第一阀门连接烧结排气口，第一烧结管的另一端通过所述第三阀门连接滑阀机械泵。 

5.如权利要求4所述烧结排气结构，其特征在于：所述第二烧结管的管长小于第一烧结管。 

6.如权利要求4所述烧结排气结构，其特征在于：所述第二烧结管为不锈钢材质制成的管道。 

7.如权利要求4所述烧结排气结构，其特征在于：所述第二烧结管的内径大于80mm。