[实用新型]电子束加工设备的磁聚焦装置

权利要求书

电子束加工设备的磁聚焦装置，主要由励磁绕组和供电电源组成；其特征在于：

励磁绕组包括主励磁绕组(2‑7)和辅助励磁绕组(4‑7)，且主励磁绕组(2‑7)的匝数多于辅助励磁绕组(4‑7)的匝数；主励磁绕组(2‑7)和辅助励磁绕组(4‑7)产生的磁场在电子束通道中的方向都与电子束飞行方向平行；

供电电源包括主供电电源和辅助供电电源；主供电电源为采用比例‑积分调节的可调直流电源，且与主励磁绕组(2‑7)相连；辅助供电电源为采用比例反馈调节的可调直流电源或交变电源，且与辅助励磁绕组(4‑7)相连；

上述主供电电源包含有第一整流滤波电路(2‑1)、功率调整管(2‑2)、第一续流二极管(2‑3)、第一取样电阻(2‑4)、换向继电器、第一调节器(2‑9)和第二续流二极管(2‑11)；第一整流滤波电路(2‑1)的输入端与外部的交流电源相连，第一整流滤波电路(2‑1)的正输出端与功率调整管(2‑2)的集电极连接，第一整流滤波电路(2‑1)的负输出端与第一续流二极管(2‑3)的阳极连接；功率调整管(2‑2)的发射极与第一续流二极管(2‑3)的阴极相连，并与电子束加工设备控制电路的公共端相接；第二续流二极管(2‑11)并接在换向继电器的控制绕组(2‑10)两端，且第一续流二极管(2‑3)的阴极经由第一取样电阻(2‑4)与换向继电器的一组三端触点(2‑6)的公共端连接，第一续流二极管(2‑3)的阳极直接与换向继电器的另一组三端触点(2‑6)的公共端连接；换向继电器的一组三端触点的常开触点(2‑6)与另一组三端触点的常闭触点(2‑6)分别相连，作为输出端；主励磁绕组(2‑7)的两端分别接在换向继电器触点(2‑6)的2个输出端上；第二续流二极管(2‑11)的阳极与电子束加工设备控制电路的公共端相连，第二续流二极管(2‑11)的阴极与电子束加工设备中央控制器(2‑8)的输出端相连；换向继电器的控制绕组(2‑10)的一端连接电子束加工设备中央控制器(2‑8)，换向继电器的控制绕组(2‑10)的另一端与电子束加工设备控制电路的公共端相连；第一调节器(2‑9)接收第一取样电阻(2‑4)的输出主励磁电流采样信号和电子束加工设备中央控制器(2‑8)输出的主励磁电流给定信号，通过比较、比例一积分运算和放大处理后，输出信号接至功率调整管(2‑2)的基极。

根据权利要求1所述的电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：

上述辅助供电电源包含有第二整流滤波电路(4‑1)、N型功率管(4‑2)、N型功率管反并联二极管(4‑3)、P型功率管(4‑4)、P型功率管反并联二极管(4‑5)、第二取样电阻(4‑6)和第二调节器(4‑8)；第二整流滤波电路(4‑1)的输入端与外部的2组交流电源相连，第二整流滤波电路(4‑1)的正输出端连接N型功率管(4‑2)的集电极，第二整流滤波电路(4‑1)的负输出端连接P型功率管(4‑4)的集电极；N型功率管反并联二极管(4‑3)的阳极连接在N型功率管(4‑2)的发射极上，N型功率管反并联二极管(4‑3)的阴极则连接在N型功率管(4‑2)的集电极上；P型功率管反并联二极管(4‑5)的阴极连接在P型功率管(4‑4)的发射极上，P型功率管反并联二极管(4‑5)的阳极则连接在P型功率管(4‑4)的集电极上；N型功率管(4‑2)的发射极和P型功率管(4‑4)的发射极相互连接后接至电子束加工设备控制电路的公共端，并经第二取样电阻(4‑6)与辅助励磁绕组(4‑7)的一端相连；辅助励磁绕组(4‑7)的另一端与第二整流滤波电路(4‑1)的输出端正负电源的公共端连接；第二调节器(4‑8)接收第二取样电阻(4‑6)的输出辅助励磁电流采样信号和电子束加工设备中央控制器(2‑8)输出的辅助励磁电流给定信号，通过比较和放大处理后，输出信号接至N型功率管(4‑2)的基极和P型功率管(4‑4)的基极。

根据权利要求1或2述的电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：主励磁绕组(2‑7)的电流回路中还串接有用于抑制感应电流的线性电抗器(2‑5)。

根据权利要求1所述的电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：主励磁绕组(2‑7)和辅助励磁绕组(4‑7)分别装在一个开设有磁场气隙(2)的密闭铁甲(1)的内部，上述磁场气隙(2)开在电子束通道(3)一侧。