[发明专利]隔垫物检测装置及方法

权利要求书

1.一种隔垫物检测装置，其特征在于，包括：X射线成像单元和图像处理单元，其中X射线成像单元包括X射线源和X射线敏感镜头；

X射线源，用于产生透过带有隔垫物的基板的X射线；

X射线敏感镜头，接收透过基板的X射线并形成灰度图像；

图像处理单元，利用灰度图像测量隔垫物的高度。

2.权利要求1所述的隔垫物检测装置，其特征在于，X射线源和X射线敏感镜头关于基板位置相对，X射线源为X射线阵列源，X射线敏感镜头为X射线敏感平板探测器。

3.权利要求2所述的隔垫物检测装置，其特征在于，X射线敏感镜头与基板之间设置有光阑。

4.权利要求1所述的隔垫物检测装置，其特征在于，所述X射线成像单元为两个，关于基板位置相对，其中任一个的X射线成像单元的X射线敏感镜头接收另一个X射线成像单元的X射线源透过基板的X射线，形成灰度图像。

5.权利要求4所述的隔垫物检测装置，其特征在于，所述两个X射线成像单元可以在圆弧轨道上移动，使得X射线入射基板的角度改变。

6.一种隔垫物检测方法，其特征在于，包括：

产生透过带有隔垫物的基板的X射线，接收透过基板的X射线并形成灰度图像；

利用灰度图像测量隔垫物的高度。

7.权利要求6所述的隔垫物检测方法，其特征在于，所述形成灰度图像包括：

将同一区域的反面灰度图像和正面灰度图像进行反转复合，得到用于测量隔垫物的高度的灰度图像。

8.权利要求6所述的隔垫物检测方法，其特征在于，该方法还包括：

若灰色图像某个区域的灰度值超过设定的阈值，则改变X射线的发射角度，再次对所述基板的对应区域进行检测。

9.权利要求6-8任一项所述的隔垫物检测方法，其特征在于，所述利用灰度图像测量隔垫物的高度包括：

根据设定的对应关系将灰度图像像素的灰度值换算为隔垫物的高度值。

10.权利要求6-8任一项所述的隔垫物检测方法，所述利用灰度图像测量隔垫物的高度包括：

灰度图像包括同一区域的不同深度的若干剖析图像，从中找到隔垫物的顶和底所在的剖析图像，两者之间的深度之差即为隔垫物的高度。

11.权利要求6-8任一项所述的隔垫物检测方法，该方法还包括：

利用同一区域的不同深度的若干剖析图像进行组合形成隔垫物的立体图像。