[发明专利]像素缺陷检测方法和装置

说明书

技术领域

本发明涉及缺陷检测技术，特别是涉及一种像素缺陷检测方法和装置。

背景技术

有机发光显示（Organic Light-Emitting Diode，OLED）是主动发光显示器件，相比目前主流的薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)，其具有高对比度，广视角，低功耗，响应速度快，体积更薄等优点，有望成为继LCD之后的下一代平板显示技术。

在OLED的制造过程中，会因工艺的问题导致各种不良，其画面显示亮度的均匀性很难得到保证，如何提升良率就成为每个制造商都非常关心的问题。首先，必须对不良进行检测，找出不良发生的根因，然后才可以有针对性的进行工艺上的改善提升良率。传统的流水线上多采用自动光学检测装置对工艺中的一些不良进行检测，其需要高精度的物理对准，因为对准偏差会直接影响像素级别的检测效果。并限制了缺陷检测的阈值设定，如果阈值设置过小，高的像素对比精度可能会造成大面积的误检，所以选择合适的阈值比较困难，且容易出现漏检。同时其高精度的定位移动扫描和复杂的图像采集系统限制了其应用场合。

发明内容

基于此，有必要提出一种无需高精度物理对准和定位移动扫描的快速检测方法和装置。

一种像素缺陷检测方法，包括如下步骤:

对待测基板进行视频扫描；

抽取满足预设条件的视频帧图片；

将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片；

将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素。

在其中的一个实施例中，所述将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素的步骤包括：

根据所述参考图片中的采样点确定所述配准图片中的采样区域；

将所述采样区域与所述参考图片中的对应区域进行对比，判断所述采样区域内是否有所述缺陷像素；

确定所述采样区域的所述缺陷像素。

在其中的一个实施例中，在所述对待测基板进行视频扫描的步骤前，还包括插入相应的滤波装置的步骤。

在其中的一个实施例中，所述对待测基板进行视频扫描具体为多次使用不同波长的滤波装置重复的对所述待测基板进行视频扫描。

在其中的一个实施例中，还包括获取所述采样区域像素的光谱曲线，然后根据所述光谱曲线的一致性判断异常点的位置。

在其中的一个实施例中，将所述采样区域的像素灰度与所述参考图片中的对应区域的像素灰度的差值大于所述预设阈值的像素作为缺陷像素。

在其中的一个实施例中，所述抽取满足预设条件的视频帧图片具体为等间隔抽取图片之间的相关度在预设范围的视频帧图片。

在其中的一个实施例中，所述对待测基板进行视频扫描的模式为基板移动模式或相机移动模式。

在其中的一个实施例中，通过S型路径匀速移动所述待测基板实现对所述待测基板进行视频扫描。

在其中的一个实施例中，所述将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片的步骤包括：

计算所述视频帧图片与所述参考图片之间的相关度；

将所述相关度最大值对应的所述视频帧图片和所述参考图片相应部分对应起来作为配准图片。

在其中的一个实施例中，所述将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片包括：

获取所述视频帧图片与所述参考图片之间的一对特征点；