[发明专利]像素缺陷检测方法和装置

权利要求书

1.一种像素缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤:

对待测基板进行视频扫描；

抽取满足预设条件的视频帧图片；

将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片；

将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素。

2.如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素的步骤包括：

根据所述参考图片中的采样点确定所述配准图片中的采样区域；

将所述采样区域与所述参考图片中的对应区域进行对比，判断所述采样区域内是否有所述缺陷像素；

确定所述采样区域的所述缺陷像素。

3.如权利要求2所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，在所述对待测基板进行视频扫描的步骤前，还包括插入相应的滤波装置的步骤。

4.如权利要求3所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述对待测基板进行视频扫描具体为多次使用不同波长的滤波装置重复的对所述待测基板进行视频扫描。

5.如权利要求4所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，还包括获取所述采样区域像素的光谱曲线，然后根据所述光谱曲线的一致性判断异常点的位置。

6.如权利要求2所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，将所述采样区域的像素灰度与所述参考图片中的对应区域的像素灰度的差值大于所述预设阈值的像素作为缺陷像素。

7.如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述抽取满足预设条件的视频帧图片具体为等间隔抽取图片之间的相关度在预设范围的视频帧图片。

8.如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述对待测基板进行视频扫描的模式为基板移动模式或相机移动模式。

9.如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，通过S型路径匀速移动所述待测基板实现对所述待测基板进行视频扫描。

10.如权利要求1至9中任一项所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片的步骤包括：

计算所述视频帧图片与所述参考图片之间的相关度；

将所述相关度最大值对应的所述视频帧图片和所述参考图片相应部分对应起来作为配准图片。