[发明专利]电镀槽

说明书

技术领域

本发明属于制作太阳能电池设备技术领域，尤其涉及一种卷对卷的电镀槽。 

背景技术

CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池具有极佳的光吸收常数，只需1.5微米的超薄吸收层，光电转换效率稳定，光谱响应范围宽，能带可调，抗辐射能力强，无光致衰退，具有光致增益，弱光增益，并且还有重量轻，成本低，易安装的优点成为太阳能领域研究的重点。其典型结构为：金属背电极Mo层、CIGS吸收层、缓冲层CdS、窗口层高阻i:ZnO、低阻ZnO:Al、MgF2减反射膜和Ni-Al栅电极。 

CIGS吸收层由Cu，In，Ga，Se四种元素组成，电池的光电转换效率与四种元素的摩尔比有关，一般要求Cu/(In+Ga)在0.75～1之间，Ga/(In+Ga)在0.3～0.5之间。CIGS吸收层的制备是CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池的核心技术。 

由于CIGS吸收层由多种元素组成，多采用真空沉积的方法制备。真空沉积技术如溅射后硒化或者共蒸发，其设备极其昂贵，过程复杂，工艺复杂，难以进行大规模化生产。 

现国外有报道采用非真空沉积的方法来制备CIGS吸收层，具体地，采用卷对卷电镀CIGS吸收层，如图1所示，镀液槽802内盛装有装有电镀液803，并设置有浸没于电镀液803中的阳极800和部分浸没于所述电镀液803中的大转轮801，所述大转轮801的直径较大与阳极800上下间隔设置，具有间隙。所述阳极800上朝向大转轮801的面为一凹面805，所述凹面805的弧度与所述大转轮801的弧度相匹配，所述凹面805与所述阳极800侧面形成两个尖 部804，柔性衬底806经过清洗绕在大转轮801的外周面上并浸没在电镀液803中进行电镀，沉积CIGS吸收层。 

此方案存在如下缺点： 

1、阳极800需要加工凹面805，制作工艺复杂，且在电镀时，阳极凹面两侧的尖部804会优先损耗，时间一长凹面805变浅，无法确保电镀沉积的CIGS吸收层的均匀性和镀速稳定性； 

2、当只需在所述衬底701的一面上沉积CIGS吸收层时，其CIGS元素有可能沉积在衬底701的另一面； 

3、镀液槽802中电镀液803的流动不畅，不能及时有效的排出电镀时产生的气泡，容易在电镀沉积的CIGS吸收层上产生花斑，严重影响产品质量。 

另外，美国专利公开号US2007/0227633A1公开的一种水平电镀的方式，由于，采用的水平直线电镀，衬底没有弯绕，生产线过长，占用空间大，另外，采用该方式电镀时，阳极位于衬底下方，同样具有阴极析出的气泡排不出去的问题，而将阳极放置于衬底上面，又存在阴极面电镀液流动不畅的问题，都会对电镀沉积的CIGS吸收层的表面质量产生影响。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种电镀槽，旨在解决现有技术中采用非真空电镀沉积法于衬底上沉积铜或镓或铟或硒元素时，其均匀性难以控制的难题。 

本发明的实施例是这样实现的，一种电镀槽，用于将铜或镓或铟或硒元素沉积于衬底的一表面，包括 

电镀子槽，具有用于盛装电镀液的容纳腔； 

阳极，用于沉积CIGS吸收层呈板状设置并挂设于所述电镀子槽的侧壁， 

浸没于所述电镀液中； 

传送装置，设置于所述电镀子槽的中间处，用于携带所述衬底同步移动，所述传送装置的传动路径呈由多线段首尾相接而成的封闭状； 

所述阳极分别与所述传送装置上沉浸于电镀液中对称设置的侧面平行相对设置，所述衬底贴附于所述传送装置上沉浸于电镀液内的侧面且与所述阳极平行相对设置。 

进一步地，所述传送装置包括一固定架、安装于所述固定架上部并抵顶所述衬底的至少一组主辊轮和安装于所述固定架下部并与所述主辊轮配合转动的至少一组从辊轮，以及传输带，所述传送带贴设于所述主辊轮和所述从辊轮的外周面上并携带所述衬底一同运动。 

进一步地，所述传送装置上的传输带的传动路径成矩形，所述阳极与所述传送装置上相对设置并沉浸于所述电镀液中的两侧面相对平行间隔设置。 

进一步地，所述主辊轮和所述从辊轮的外周面与所述固定架的外侧壁相切。 

进一步地，所述主辊轮和所述从辊轮的外周面凸出于所述固定架的外侧壁。 

进一步地，所述传送装置上还设有用于调节所述传输带张紧度的调整装置，所述调整装置与所述主辊轮和所述从辊轮可调节连接。 

进一步地，所述传输带上还设有可吸附所述衬底使其与所述传输带贴合的吸附部。