[发明专利]用于化学镀装置的篮夹具以及化学镀方法无效

专利信息
申请号: 201310675145.7 申请日: 2013-12-11
公开(公告)号: CN103882413A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 南孝昇;柳彰燮;崔然弘 申请(专利权)人: 三星电机株式会社
主分类号: C23C18/31 分类号: C23C18/31
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;李静
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 用于 化学 装置 夹具 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种用于化学镀装置的篮夹具包括:

篮,装载有多个印刷电路板;

旋转结构,被耦接至所述篮的两侧的上端部分;以及

管子,被耦接至所述篮的下端部分并且包括被注入到其中的流体。

2.根据权利要求1所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述管子是螺旋型管、盒型管、以及圆形管中的任何一种。

3.根据权利要求1所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述管子以盒管形状被耦接至所述篮的侧面。

4.根据权利要求1所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述旋转结构包括:载体,能够竖直移动;轴承,设置于所述载体的下端部分;以及旋转轴,被耦接至所述轴承并且被连接至所述篮的下端部分。

5.根据权利要求1所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述管子还包括控制所述流体的注入或者排出的可变阀。

6.根据权利要求1所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,被注入到所述管子里所述流体是气体或者液体。

7.根据权利要求6所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述液体具有比镀液的密度低的密度。

8.根据权利要求6所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述液体是水、氨水、乙醇、以及甲醇中的任何一种。

9.根据权利要求6所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述气体是空气。

10.根据权利要求1所述的用于化学镀装置的篮夹具,其中,所述管子由能够防止被镀液腐蚀的耐腐蚀材料制成。

11.一种化学镀方法包括:

将用于化学镀装置的篮夹具定位;

将用于化学镀装置的所述篮夹具浸入到充满镀液的镀槽中;

将流体注入到耦接至用于化学镀装置的所述篮夹具的管子中;

将注入到耦接至用于化学镀装置的所述篮夹具的所述管子中的所述流体排出;以及

将用于化学镀装置的所述篮夹具与充满所述镀液的所述镀槽分离。

12.根据权利要求11所述的化学镀方法,其中,在将所述流体注入到耦接至用于化学镀装置的所述篮夹具的所述管子中的过程中,由于密度差异产生浮力差异,使得所述篮旋转。

13.根据权利要求11所述的化学镀方法,其中,当所述流体到耦接至用于化学镀装置的所述篮夹具的所述管子中的注入完成时,所述篮被倒置。

14.根据权利要求11所述的化学镀方法,其中,在排放注入到耦接至化学镀装置的所述篮夹具的所述管子中的所述流体的过程中,浮力减小,使得所述篮借助于其自重而旋转。

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