[发明专利]一种基于柔顺结构六自由度的精密定位平台

权利要求书

1.一种基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：包括基座、输出平台、3个位移放大器；所述基座上设有3个第一驱动器，且3个所述第一驱动器相对于基座的中心线的圆周均匀分布；3个所述位移放大器的上端均安装于输出平台的下面，下端均与基座连接；3个所述位移放大器中均设有第二驱动器。

2.根据权利要求1所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：所述基座包括主体和3个移动块，所述主体设有通孔，3个移动块均匀分布于通孔内；所述移动块的中部弯曲，且所述移动块内设有与移动块外形匹配的安装槽，所述移动块的一端设有与安装槽连通的开口；同时所述移动块的一端的两侧均设有第一柔顺部，中部的两侧均设有第二柔顺部，而另一端的两侧均设有第三柔顺部；所述移动块通过第一柔顺部与主体的内壁连接，所述移动块的另一端与主体的内壁之间具有间隙，相邻2个所述移动块之间具有间隙；所述第一驱动器的一端与移动块的中部连接，另一端与主体的内壁连接，且所述第一驱动器位于安装槽内。

3.根据权利要求2所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：所述位移放大器包括第一万能副、移动副和第二万能副；所述第一万能副的上端固定于输出平台，所述第一万能副的下端设有第四柔顺部和第五柔顺部，第四柔顺部位于第五柔顺部的上方，且所述第四柔顺部和第五柔顺部互相垂直，所述第一万能副通过第五柔顺部与移动副的上端连接；所述第二万能副的上端设有第六柔顺部和第七柔顺部，且所述第六柔顺部位于第七柔顺部的下方，且所述第六柔顺部与第七柔顺部互相垂直；所述第二万能副通过第七柔顺部与移动副的下端连接；所述第二万能副的下端与基座连接；所述第二驱动器安装于移动副内。

4.根据权利要求3所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：所述基座上面设有过渡支架，所述过渡支架呈三角架状；所述移动块另一端设有安装部，且安装部位于2个第三柔顺部之间；所述过渡支架的3个支脚分别安装于3个移动块的安装部；所述第二万能副的下端通过过渡支架与基座连接。

5.根据权利要求1所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：所述基座下面设有6个位移传感器，所述位移传感器以2个为一组，3组所述位移传感器分别位于相邻的位移放大器之间，且每一组中的2个位移传感器相互垂直设置。

6.根据权利要求5所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：还包括测量支架和支撑平台，所述支撑平台安装于基座的下面；所述测量支架的上端与输出平台连接，下端穿过基座且与支撑平台连接；所述位移传感器通过测试支架安装于输出平台的下面。

7.根据权利要求6所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：所述测量支架包括第一连接杆、转动杆和第二连接杆，所述第一连接杆的上端与输出平台连接，所述第一连接杆的下端设有槽孔，所述转动杆的一端安装于槽孔，所述转动杆的另一端与第二连接杆的上端铰接，所述第二连接杆的下端穿过基座且与支撑平台连接。

8.根据权利要求5所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：还包括3个测量支架和3个调节杆，所述测量支架的上端与输出平台连接，下端与基座连接；3个所述测量支架分别位于相邻两个位移放大器之间；3个所述调节杆分别安装于3个测量支架的下端；所述位移传感器通过测量支架安装于输出平台的下面。

9.根据权利要求8所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：所述测量支架包括第一连接件、第二连接件和第三连接件，所述第二连接件呈倒L型，所述第二连接杆的上端设有第一调节槽，所述第一连接件的上端与输出平台连接，下端安装于第一调节槽；所述第三连接件安装于基座上，且第三连接件的一端与第二连接件的下端连接，所述第三连接件的另一端设有第二调节槽，所述调节杆的一端安装于第二调节槽。

10.根据权利要求5所述的基于柔顺结构六自由度的精密定位平台，其特征在于：还包括控制器，所述第一驱动器和第二驱动器均与控制器的输出端连接，所述控制器的输入端与位移传感器连接。