[发明专利]具有针对热力学应力低敏感度的微机电结构

权利要求书

1.一种微机电结构，其包括：

基材；

在所述基材上方悬置的检验质量块，所述检验质量块通过相对于位于其所在平面中的可移动的质量块旋转轴线平移和倾斜而对加速度作出响应；

至少一个在所述基材上固定的锚固部，所述至少一个锚固部被连接成支承所述检验质量块；以及

多个弹性元件，所述弹性元件在所述至少一个锚固部与所述检验质量块之间连接，所述多个弹性元件的几何形状和结构被调整成减少由热力学应力导致的检验质量块的位移，所述多个弹性元件中的第一组弹性元件与第二组弹性元件被布置成从两个相反侧支承所述检验质量块，所述第一组弹性元件和所述第二组弹性元件的几何形状和结构相对于一中心线彼此镜像，其中所述中心线垂直于所述可移动的质量块旋转轴线并经过所述检验质量块的中心。

2.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，还包括两个在可移动的质量块旋转轴线的两侧连接至基材的电极，所述两个电极与所述检验质量块形成两个单独的电容器，这两个电容器的电容之间的不匹配与加速度和热力学应力这两者相关。

3.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述微机电结构被应用成检测垂直所述检验质量块所在平面的面外加速度。

4.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述多个弹性元件中的至少一个弹性元件是T形元件，该T形元件的腿在所述检验质量块上相连，并且该T形元件的臂在所述至少一个锚固部上锚固。

5.根据权利要求4所述的微机电结构，其特征在于，所述T形元件的臂位于所述可移动的质量块旋转轴线的相反两侧，并且彼此采用不同的宽度和长度。

6.根据权利要求4所述的微机电结构，其特征在于，所述T形元件的臂位于所述可移动的质量块旋转轴线的相反两侧，并且采用呈锥形的宽度，其中所述呈锥形的宽度与有区别的锥角相关。

7.根据权利要求4所述的微机电结构，其特征在于，所述T形元件的至少一个臂包括至少一个迂回结构。

8.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述检验质量块沿着所述可移动的质量块旋转轴线在所述多个弹性元件所连接的耦联部位处凹设。

9.根据权利要求8所述的微机电结构，其特征在于，所述检验质量块在针对所述至少一个锚固部的部位处被进一步凹设，以使得所述至少一个锚固部和所述多个弹性元件都被包含在所述检验质量块的轮廓内。

10.一种补偿如权利要求1至9任一所述的微机电结构内累积的热力学应力的方法，其包括以下步骤：

确定在所述结构内累积的热力学应力的程度，所述热力学应力使得检验质量块出现位移，其中所述检验质量块通过相对于可移动的质量块旋转轴线平移和倾斜而对加速度作出响应；

确定与根据热力学应力的程度的输出相关的偏移值和灵敏度偏差，所述输出通过所述结构响应于所述加速度而产生；以及

调整多个弹性元件的几何形状和结构，以补偿所述偏移值和灵敏度偏差，所述多个弹性元件在至少一个锚固部与所述检验质量块之间连接，应用成支承所述检验质量块，所述多个弹性元件中的至少一个弹性元件是T形元件，该T形元件的腿在所述检验质量块上相连，并且该T形元件的臂在所述至少一个锚固部上锚固，所述T形元件的臂位于所述可移动的质量块旋转轴线的相反两侧，并具有被设计成减少在相反两侧由热力学应力导致的位移的宽度和长度。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述T形元件的臂位于所述可移动的质量块旋转轴线的相反两侧，并且采用呈锥形的宽度，其中所述呈锥形的宽度与有区别的锥角相关。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述T形元件的两个臂中的至少一个臂包括至少一个迂回结构。