[发明专利]一种离子注入机宽束均匀性调节装置

权利要求书

1. 一种离子注入机宽束均匀性调节装置，其特征是，包括多灯丝离子源（1）、多缝引出电极板（2）、垂直质量分析器（3）、分析光栏（4）、挡束光拦（5）、基板（8）和固定法拉第阵列（6）；所述多缝引出电极板（2）位于多灯丝离子源（1）与垂直质量分析器（3）之间，该多缝引出电极板（2）将多灯丝离子源（1）在离子源腔体内产生的等离子体引出并送入垂直质量分析器（3）内，所述垂直质量分析器（3）将离子体分选后以宽带离子束（10）的形式送入用于调节宽带离子束（10）高度的分析光栏（4）中，该分析光栏（4）具有多条分析缝，在分析光栏（4）的出口处设有调节宽带离子束（10）均匀性的挡束光拦（5）,所述固定法拉第阵列（6）位于挡束光拦（5）的出口处，该固定法拉第阵列（6）将测量到的宽带离子束（10）各部分束流汇聚成束剖面，使宽带离子束（10）全部进入固定法拉第阵列（6）的法拉第本内；水平往复移动的所述基板（8）位于所述挡束光拦（5）与固定法拉第阵列（6）之间。

2. 根据权利要求1所述离子注入机宽束均匀性调节装置，其特征是，所述垂直质量分析器（3）内设有多条宽带离子束（10）通道，相邻两条宽带离子束（10）通道之间装有非磁性碳制成的导电板（9），该导电板（9）电气接地。

3. 根据权利要求1所述离子注入机宽束均匀性调节装置，其特征是，还包括一均匀性控制器（7）；所述均匀性控制器（7）与调整所述分析光栏（4）的分析缝缝宽的电机相连；所述挡束光拦（5）包括多块挡板，相邻两块挡板之间具有间隙，所述均匀性控制器（7）与驱动所述挡板转动的电机相连。

4. 根据权利要求1所述离子注入机宽束均匀性调节装置，其特征是，所述垂直质量分析器（3）为偏转角为70°~90°的磁分析器。

5. 根据权利要求1所述离子注入机宽束均匀性调节装置，其特征是，所述多缝引出电极板（2）的引出缝位置与所述多灯丝离子源（1）对应。

6. 根据权利要求3所述离子注入机宽束均匀性调节装置，其特征是，所述均匀性控制器（7）与控制多灯丝离子源（1）灯丝电流大小的控制部件相连。