[发明专利]一种扫描近场光学检测台

权利要求书

1.一种扫描近场光学检测台，其特征在于，所述扫描近场光学检测台至少包括：

本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；

收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括与XOY平行的底面以及垂直于所述底面且相互垂直相邻的四个侧面；

所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；

所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。

2.根据权利要求1所述的扫描近场光学检测台，其特征在于，所述液压驱动单元(21)包括设有腔体（32）的管体（38）、密封所述腔体的上端盖（39）和下端盖（34）、位于所述上端盖和所述下端盖上用于连接所述本体的柔性铰链（31）、位于所述下端盖内与所述腔体连通的进油通道（33）、与所述进油通道连通的进油管接头（36）以及均匀分布在管体外的电阻应变片（37）。

3.根据权利要求1所述的扫描近场光学检测台，其特征在于，所述喷嘴单元包括与所述本体（22）固定的喷嘴支架（24）、设置于所述喷嘴支架一端、设有进气孔（11）和出气孔（16）的喷嘴（12）；所述喷嘴和所述喷嘴支架之间套设有调节螺母（13）；所述喷嘴下端套设有螺母（15）；所述螺母与所述调节螺母之间设有压缩弹簧（14）。

4.根据权利要求3所述的扫描近场光学检测台，其特征在于，与所述本体固定的喷嘴支架采用螺钉（23）固定。

5.根据权利要求1所述的扫描近场光学检测台，其特征在于，所述每个液压驱动单元与所述本体通过两个螺钉（20）固定。

6.根据权利要求2所述的扫描近场光学检测台，其特征在于，所述上端盖和下端盖采用焊接的方式密封所述腔体。