[发明专利]液体排出头及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及液体排出头和该液体排出头的制造方法。

背景技术

通过排出诸如墨等的液体来记录图像并且以喷墨记录设备为代表的记录设备包括液体排出头。排出口形成于这种液体排出头，使用从能量产生元件产生的能量将液体从排出口排出。

这种液体排出头包括基板和流路形成构件。流路形成构件形成于基板上并且是形成了供液体流动的流路和与流路连通的排出口的构件。流路形成构件由树脂、金属或诸如氮化硅等的无机材料形成。

通常，在基板上形成多个流路（液室），并且形成排出口，各排出口均与一个流路相对应。多个流路（即彼此相邻的液室）通过形成各液室的流路形成构件彼此分离。

有时可以在多个流路之间形成间隙，即，在流路形成构件的形成一个流路的部分和流路形成构件的形成与该一个流路相邻的另一个流路的部分之间形成间隙。在日本特表2010-512262号公报（以下称为“专利文献1”）中说明了包括由无机材料制成的流路形成构件的液体排出头。在专利文献1中说明的液体排出头的制造过程中，均被构造为形成流路（液室）的模具构件形成于基板，以诸如覆盖模具构件的方式通过化学气相沉积方法（CVD方法）涂布无机膜。然后在无机膜中形成排出口，最后，去除模具构件，以形成流路。在通过这种方法制造的液体排出头中，沿着均具有液室形状的模具构件形成无机膜，因而，在模具构件之间形成间隙。换言之，在流路之间形成的流路形成构件中形成间隙。在流路形成构件中以此方式形成间隙的情况下，有时液体排出头的强度可能低。因此，专利文献1说明了采用填充材料填充这种间隙。

发明内容

本发明提供一种液体排出头，其包括：基板；和流路形成构件，其在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口。液体从所述排出口排出。在所述多个流路之间形成间隙并且所述间隙填充有填充材料。在液体从所述排出口排出的方向为向上的方向的情况下，所述填充材料的顶面位于与所述流路形成构件的喷射口面相同高度的位置处或者位于在向上的方向上比所述流路形成构件的喷射口面高的位置处。

本发明还提供一种液体排出头的制造方法，所述液体排出头包括基板和流路形成构件，所述流路形成构件在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口，所述液体排出头从所述排出口排出液体，所述方法包括：形成模具构件，其中所述模具构件被构造为在所述基板上形成所述多个流路的图案；以所述流路形成构件覆盖所述模具构件的方式形成所述流路形成构件；以研磨停止层至少覆盖所述流路形成构件的待形成所述排出口的区域的方式形成所述研磨停止层；以形成于所述模具构件之间的间隙填充有填充材料的方式涂布所述填充材料；通过研磨所述填充材料使所述研磨停止层露出；去除所述研磨停止层；并且使所述排出口形成于所述流路形成构件。

从下面参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其它特征将变得明显。

附图说明

图1A和图1B是示出根据本发明的液体排出头的实施例的图。

图2A至图2I是示出根据本发明的液体排出头的制造方法的实施例的图。

图3是示出根据本发明的液体排出头的另一个实施例的图。

图4A至图4C是示出根据本发明的液体排出头的制造方法的另一个实施例的图。

具体实施方式

近年来，在专利文献1说明的液体排出头中，需要改善液体排出头的排出效率并减小从这种液体排出头排出的液滴的大小。为了实现这个目的，可以减小流路形成构件的厚度，特别是可以减小流路形成构件的围绕在排出口周围的区域（即所谓的孔板）的厚度。

在减小孔板的厚度的情况下，孔板的强度变低。结果，例如，在各孔板的作为顶面的喷射口面（face surface）与在运输期间变形的记录介质等接触的情况下，孔板很可能受损。在喷射口面受损的情况下，排出口可能变形。另外，在专利文献1中说明的液体排出头中，通过CVD方法形成包括孔板的流路形成构件，因而，在孔板的厚度减小的情况下，整个流路形成构件的厚度减小。结果，整个流路形成构件的强度减小，并且流路形成构件很可能由于与记录介质等的接触而受损。

因此，本发明提供一种液体排出头，其中，即使流路形成构件与记录介质等接触，流路形成构件也不可能受损。