[发明专利]液体排出头及其制造方法

权利要求书

1.一种液体排出头，其包括：

基板；和

流路形成构件，其在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口，

其中，液体从所述排出口排出，

在所述多个流路之间形成间隙并且所述间隙填充有填充材料，以及

在液体从所述排出口排出的方向为向上的方向的情况下，所述填充材料的顶面位于与所述流路形成构件的喷射口面相同高度的位置处或者位于在向上的方向上比所述流路形成构件的喷射口面高的位置处。

2.根据权利要求1所述的液体排出头，其中，在液体从所述排出口排出的方向为向上的方向的情况下，所述填充材料的顶面位于在向上的方向上比所述流路形成构件的喷射口面高的位置处。

3.根据权利要求1所述的液体排出头，其中，所述流路形成构件是由无机材料制成的。

4.根据权利要求1所述的液体排出头，其中，所述填充材料是由树脂制成的。

5.根据权利要求1所述的液体排出头，其中，所述填充材料的顶面采用密封构件密封。

6.根据权利要求5所述的液体排出头，其中，所述密封构件以从所述填充材料的顶面延伸到所述流路形成构件的喷射口面的方式形成，并且所述密封构件与所述流路形成构件一同形成所述排出口。

7.一种液体排出头的制造方法，所述液体排出头包括基板和流路形成构件，所述流路形成构件在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口，所述液体排出头从所述排出口排出液体，所述方法包括：

形成模具构件，其中所述模具构件被构造为在所述基板上形成所述多个流路的图案；

以所述流路形成构件覆盖所述模具构件的方式形成所述流路形成构件；

以研磨停止层至少覆盖所述流路形成构件的待形成所述排出口的区域的方式形成所述研磨停止层；

以形成于所述模具构件之间的间隙填充有填充材料的方式涂布所述填充材料；

通过研磨所述填充材料使所述研磨停止层露出；

去除所述研磨停止层；并且

使所述排出口形成于所述流路形成构件。

8.根据权利要求7所述的液体排出头的制造方法，还包括通过检测研磨所述填充材料的研磨速度和研磨所述研磨停止层的研磨速度之间的差或研磨所述填充材料的研磨速度和研磨所述流路形成构件的研磨速度之间的差来感测所述研磨停止层的露出。

9.根据权利要求7所述的液体排出头的制造方法，还包括通过检测所述填充材料的反射率和所述研磨停止层的反射率之间的差或所述填充材料的反射率和所述流路形成构件的反射率之间的差来感测所述研磨停止层的露出。

10.根据权利要求7所述的液体排出头的制造方法，其中，所述研磨停止层是由金属制成的。

11.根据权利要求7所述的液体排出头的制造方法，其中，在去除所述研磨停止层后，密封构件以从由所述填充材料的顶面延伸到所述流路形成构件的喷射口面的方式形成为膜。

12.根据权利要求7所述的液体排出头的制造方法，其中，

排出口图案形成于所述研磨停止层，并且

通过使用形成有所述排出口图案的所述研磨停止层作为掩模使所述排出口形成于所述流路形成构件。