[发明专利]具有正的场致电阻效应的异质结构材料及其制备方法和用途在审

专利信息
申请号: 201310529501.4 申请日: 2013-10-31
公开(公告)号: CN104600191A 公开(公告)日: 2015-05-06
发明(设计)人: 赵莹莹;胡凤霞;王晶;匡皓;王栓虎;孙继荣;沈保根 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: H01L43/10 分类号: H01L43/10;H01L43/12
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 郭广迅
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 具有 致电 效应 结构 材料 及其 制备 方法 用途
【权利要求书】:

1.一种具有正的场致电阻效应的异质结构材料,所述异质结构材料包括:(001)、(011)或其斜切取向的具有反压电特性的PMN-PT单晶衬底和外延生长于该单晶衬底上的钙钛矿型锰氧化物薄膜,其中,所述钙钛矿型锰氧化物薄膜的化学通式为:Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3,0<x<1,所述PMN-PT单晶衬底与所述钙钛矿型锰氧化物薄膜的晶格失配度为3.5~4.6%。

2.根据权利要求1所述的异质结构材料,其中,所述PMN-PT单晶衬底的化学通式为:(1-y)[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]-(y)[PbTiO3],y=0.3~0.4。

3.根据权利要求1或2所述的异质结构材料,其中,所述钙钛矿型锰氧化物的块材表现出相分离特征。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的异质结构材料,其中,所述PMN-PT单晶衬底的厚度为0.05~0.5mm;优选地,所述钙钛矿型锰氧化物薄膜的厚度为1~500nm。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的异质结构材料,其中,所述钙钛矿型锰氧化物薄膜的化学通式为:Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3,0.2<x<0.6;优选地,所述PMN-PT单晶衬底与所述钙钛矿型锰氧化物薄膜的晶格失配度为4.0~4.5%。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的异质结构材料,其中,在PMN-PT单晶衬底的背面和Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3薄膜表面上蒸镀Au、Ag或Pt电极,并在PMN-PT单晶衬底上施加纵向电场后,所述异质结构材料表现出正的场致电阻效应。

7.权利要求1至6中任一项所述异质结构材料的制备方法,所述方法包括:

(1)制备钙钛矿型锰氧化物靶材:按照Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3化学式配料,原料为Pr、Ca、Sr和Mn各自的氧化物或碳酸盐;将原料研磨充分混合后,在600~1250℃下煅烧9~24小时,取出再次研磨,然后在同样条件下煅烧,反复3~4次,最后在1200~1350℃下烧结,即得到钙钛矿型锰氧化物Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3靶材;

(2)沉积钙钛矿型锰氧化物薄膜:将(001)、(011)或其斜切取向的PMN-PT单晶衬底和步骤(1)制得的Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3靶材安装在薄膜沉积腔内,利用脉冲激光沉积技术在所述(001)、(011)或其斜切取向的PMN-PT单晶衬底上生长Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3薄膜。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其中,所述制备方法还包括:(3)在PMN-PT单晶衬底的背面和Pr0.7(Ca1-xSrx)0.3MnO3薄膜表面上蒸镀Au、Ag或Pt电极,然后,在PMN-PT单晶衬底上施加纵向电场。

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