[发明专利]用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置及其控制方法无效
| 申请号： | 201310508910.6 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103586586A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 龚楷峰;刘俊辉;施心星 | 申请（专利权）人： | 苏州镭明激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064;B23K26/142;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 透明 导电 薄膜 脉冲 激光 刻蚀 装置 及其 控制 方法 | ||
1.一种用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置，其特征在于，包括用于吸附膜材的真空平台(1)、激光器(2)和振镜(4)，所述激光器(2)和振镜(4)之间设有扩束镜(3)，所述真空平台(1)的上方设有CCD图像传感器(5)，所述真空平台(1)的一侧设有吹气装置(6)，另一侧设有集尘装置(7)。
2.如权利要求1所述的用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置，其特征在于，所述CCD图像传感器(5)位于膜材的正上方。
3.如权利要求1所述的用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置，其特征在于，所述激光器(2)波长范围为1060nm-1090nm，脉宽范围为1-200ns，频率范围为5KHz-1MHz。
4.如权利要求1所述的用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置，其特征在于，所述激光器(2)、振镜(4)通过通信模块(9)和工控机(8)相连。
5.如权利要求1所述的用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
a)将待加工膜材通过真空吸附固定在真空平台(1)上：
b)将激光器(2)发出的激光经过扩束镜(3)对光束进行同轴扩束，控制聚焦后的光斑大小为20um-50um；
c)振镜(4)将光束聚焦于待加工膜材表面，扫描图形转化为数字信号后在待加工膜材表面进行刻蚀；
d)CCD图像传感器(5)导入定位标拍摄，并抓取靶标进行精度定位控制；
e)吹气装置(6)产生气流吹走蚀刻产生的粉尘，并通过集尘装置(7)收集粉尘。
6.如权利要求5所述的用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置的控制方法，其特征在于，所述振镜(4)的一次性移动范围为110mm×110mm、140mm×140mm或170mm×170mm，通过多次移位反复刻蚀，最终实现整个加工幅面的刻蚀。
7.如权利要求5所述的用于透明导电薄膜的脉冲激光刻蚀装置的控制方法，其特征在于，所述真空平台(1)上设有光栅尺监测并反馈位置信息。
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