[发明专利]无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜

说明书

技术领域

本发明关于一种无线传输的监控技术，具体而言涉及一种可简化配线的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，借以能达到易于安装与检修的目的。

背景技术

为了满足电子产品轻薄短小、高频、高效能等特性的发展，用于电子产品中的核心芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化、且具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化。而在集成电路微细化及降低成本的考虑下，晶圆的尺寸越来越大，且每一晶圆上的芯片数量也越来越多，因此晶圆的价值不断提高，故制程中晶圆上的任何问题都可能造成极大的损失。

然而，晶圆/光罩于制作、清洗、操作与储存、运输的过程中，主要置于移转容器内部或无尘室环境中，其均存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质在经长时间储存或曝光制程的加热后，会于晶圆或光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，以光罩应用于黄光微影制程为例，其会直接影响到光罩的透光率，使光罩上的图形失真，造成晶圆良率降低的现象，且增加清理与改善的时间，降低生产效率，相对上也会提高营运的成本。

为了解决这个问题，而在半导体制程中，运用自动化物料搬运系统（Automated Material Handling System，AMHS），与隔离进出料标准机械接口（Standard Mechanical Interface，SMIF）设备，来进行光罩于不使用期间的维护与运送，不但能取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，还能提升晶圆/光罩的洁净度，达到超高生产良率，故近年来，AMHS与SMIF已被列为是国际间半导体厂的标准设备规范。

根据上述技术概念，晶圆/光罩除了在制程使用中，于一般运送或保存期间，都必须将晶圆/光罩放置在一个高洁净度、气密性佳与低气体逸出（Outgassing）的密封式载具内，如晶圆传送盒（FOUP）、晶圆运输盒（FOSB）、光罩传送盒（Reticle SMIF Pod，RSP），例如美国专利第US 4532970号与美国专利第US 4534389号的晶圆、光置密闭移转系统，有效防止晶圆与光罩受到污染，以确保周圆环境的微粒不致进入紧邻光罩与晶圆的环境中。而为了提高前述密封式载具的洁净度，通常会在前述密封式载具内充填干净的气体（例如氮气(N₂)），使该载具内部形成正压，以减少有害气体渗入为害，然受限于载具气密性不足的问题，通常在一段时间后，即会因漏气而失去效果，故近年来业界进一步在其运送设备上或储存设备上设置一充气座，通过充气座不断的对各该密封式载具进行持续性的充气，以维持该密封式载具内部的洁净。

然而现有的充气座因设计问题，其仅能进行持续性的充气，使气体不断的连续性排出，造成不必要的惰性气体浪费，不仅增加材料成本，同时大量的惰性气体排入工作环境中，也会对工作人员的健康造成威胁。另外充气座一般会在进气回路上设计流量计，以监控其充气的流量，避免因流量过大造成气流损伤晶圆/光罩、又或因流量过小无法形成正压，但一个大型的晶圆/光罩储存柜体通常具有数百个充气座，每一个充气座设一个流量计，其数量极为庞大，造成操作人员查检的不便，如将其以信号线逐一拉出至一个计算机系统上，虽可获得完整的数据，但其光要布置这些信号线就是极大的工程，且日后维护、维修上也是极大的不便，因此如何能让工作人员实时掌控每一个充气座的充气状况，同时具有易于安装与维护之效，是相当重要的课题。

因此，本发明人乃借由长期从事相关产业的研发与制作经验，并依据前述的需求深入探讨，而由本发明经不断努力的改良，终于成功开发一种无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，借以克服现有晶圆/光罩充气座无法进行充气管理的不便与困扰。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种可监控充气状况的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，借以使得每一个晶圆/光罩的载具在储存过程中，可确保其充气效率及有效性，进而提升制程良率。

本发明的再一目的在于提供一种可降低成本的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，使其能模块化设计，于检修时无需进行信号线的查修，有效降低维护与维修的成本。

本发明的另一主要目的在于提供一种可提高效能的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，其能供远程操控与管理，增进整体制程管理的效能，并可减少气材的浪费。

为了达到上述目的，本发明提供一种无线传输模块，其包含有：

一微处理单元；

一无线广播单元，该无线广播单元连接于微处理单元；

一天线单元连接该无线广播单元，以收发一信号；