[发明专利]立轴式激光小角度测量装置

权利要求书

1.一种立轴式激光小角度测量装置，其特征在于：它包括干涉镜组（2）、轴系（3）和微动机构（6），所述的轴系（3）上设有正弦臂（4）和旋转臂（5），所述的干涉镜组（2）位于轴系（3）的一侧，微动机构（6）位于轴系（3）的另一侧；所述的干涉镜组（2）包括沿着光入射方向依次安装的偏振分光棱镜（17）和反射镜A（18），所述的反射镜A（18）的上方光反射方向上设有反射镜B（19），偏振分光棱镜（17）的下方分光方向上设有反射镜C（20），所述的反射镜B（19）的光反射方向上设有上角隅棱镜（11），所述的反射镜C（20）的光反射方向上设有下角隅棱镜（21）；所述的轴系（3）包括主轴（22）和套装在主轴（22）外的轴套（12），轴套(12)上固定设有压盖（14），所述的主轴（22）和轴套（12）之间安装有轴承；所述的正弦臂（4）固定安装在主轴（22）上，所述的主轴（22）的上端为平面的工作台（10）；所述的正弦臂（4）的两端分别固定上述上角隅棱镜（11）和下角隅棱镜（21）。

2.如权利要求1所述的立轴式激光小角度测量装置，其特征在于：还包括固定在花岗岩平台（8）上的隔离罩（7）、激光干涉仪（1）和零位指示器（9）；所述的隔离罩（7）的两侧壁上加工有孔，激光干涉仪（1）位于隔离罩（7）一侧，激光干涉仪（1）发出的光能够通过孔进入到隔离罩（7）的内部，零位指示器（9）隔离罩（7）的另一侧，通过孔接收隔离罩（7）内传出的光。

3.如权利要求2所述的立轴式激光小角度测量装置，其特征在于：所述隔离罩（12）为两层钢板之间夹保温石棉的结构。

4.如权利要求1所述的立轴式激光小角度测量装置，其特征在于：所述的微动机构（6）包括安装在滚珠丝杠（23）上的移动平台（25），所述的移动平台（25）上设有旋转臂（5）和限位块（24），所述的滚珠丝杠（23）通过联轴节（26）连接步进电机（27）。

5.如权利要求1所述的立轴式激光小角度测量装置，其特征在于：所述的角接触球轴承（15）下方安装有垫圈（13）和锁紧螺母（16）。

6.如权利要求1所述的卧轴式激光小角度测量装置，其特征在于：所述的正弦臂（4）采用镂空加筋的结构，材料选用低膨胀合金钢S4J32A。

7.如权利要求1所述的卧轴式激光小角度测量装置，其特征在于：所述的主轴（22）采用加工材料为GCr15，为阶梯轴形式，所述的轴套（12）采用加工材料为40Gr，为回转体。