[发明专利]半导体设备管理系统及其协议转换模块、半导体设备管理方法

说明书

本发明公开一种协议转换模块，用于在半导体通信模块和制造执行系统之间传递与半导体设备的通信数据，所述半导体通信模块与半导体设备之间进行符合HSMS协议的通信，所述协议转换模块为：能够加载所述半导体通信模块工程文件、且可以由所述制造执行系统调用的动态链接库文件。还公开一种使用该协议转换模块的半导体设备管理系统以及一种相适应的半导体设备管理方法。上述协议转换模块、半导体设备管理系统及方法，以动态链接库文件作为制造执行系统和半导体通信模块之间的通信桥梁，在少量改变制造执行系统的前提下实现与具备较佳通信质量的半导体通信模块的相互配合通信，简单方便地利用了各个部分的优势，实现了系统的最佳性能。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种半导体设备管理系统、一种该半导体设备管理系统的协议转换模块以及一种半导体设备管理方法。

背景技术

随着半导体生产的规模化，对自动化要求越来越高，制造执行系统（Manufacturing Execution System，MES）应运而生。MES是一种用来跟踪生产进度、库存情况、工作进度和其它进出车间的操作管理相关的信息流的管理系统软件，运行于主机上。

MES产品包括应用材料（AppliedMaterial）公司的FAB300、FACTORYworks（收购自布鲁克斯（Brooks）公司）以及国际商业机器（International Business Machine，IBM）公司的SiView等。其中以FACTORYworks的普及程度较高，使用得较多。

在对半导体设备进行管理时，需要按照一定的通信标准和半导体设备进行通信。该通信标准采用半导体设备通信标准（Semiconductor Equipment CommunicationStandard，SECS）。该标准的层次结构如图1所示。底层采用SECSI或者HSMS传递二进制数据串，SECS II属于消息格式标准，定义了在设备和主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。GEM属于特殊功能标准，定义了通过通信链路所能看到的设备接口，指定了根据特定消息设备所应采取的对应行为。目前常采用TCP/IP方式传输数据，也即采用HSMS标准进行与半导体设备的通信。

由于MES一般都是采用高级语言进行开发的，其没有提供HSMS通信协议，因而无法直接与半导体设备进行通信对其进行管理。

另一方面，针对半导体通信的开发工具可以实现与半导体设备通信的应用程序的开发，并且具有较好的通信质量。然而开发的半导体设备的通信应用程序与MES之间又存在无法直接通信的问题。

发明内容

基于此，有必要提供一种使半导体设备的通信应用程序与MES之间能够通信的协议转换模块。

此外，还提供一种半导体设备管理系统。

以及，一种半导体设备管理方法。

一种协议转换模块，用于在半导体通信模块和制造执行系统之间传递与半导体设备的通信数据，所述半导体通信模块与半导体设备之间进行符合HSMS协议的通信，所述协议转换模块为：能够加载所述半导体通信模块工程文件、且可以由所述制造执行系统调用的动态链接库文件。

在其中一个实施例中，所述制造执行系统为FACTORYworks，所述半导体通信模块为采用SECS Talk Pro工具开发的STP脚本。

在其中一个实施例中，包括：加载单元，用于初始化和加载所述STP脚本；通道管理单元，用于增加或移除所述STP脚本传递数据的通道；调用单元，以串行或并行方式调用所述STP脚本。

一种半导体设备管理系统，包括制造执行系统、半导体通信模块和协议转换模块，所述协议转换模块为能够加载所述半导体通信模块的工程文件、且由所述制造执行系统调用的动态链接库文件，以此在半导体通信模块和制造执行系统之间传递与半导体设备的通信数据。