[发明专利]用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域，尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的悬挂式轨道。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material HandlingSystems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备（STOCKER）和一个或多个空中升降机输送车（OHT），用于在硅片制造区域的各工位之间传送硅片。存放在STOCKER中的硅片被装入盒式容器，例如前端开口片盒（Front Opening Unified Pod，简称FOUP），随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT。

其中，所有的这些传输都是基于悬垂在天花板上的轨道来实现，而随着硅片尺寸的变大，硅片盒FOUP的重量在增加，因此对轨道的载荷能力及稳定性提出了新的要求，急需一种新的悬挂式轨道来提高其负重性、稳定性和安全性。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道。

为实现上述目的，本发明提供一种用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，其包括两条相互平行的导轨以及分别将两条导轨固定于操作空间顶部的两条连接臂，每条该导轨都具有与运输车的车轮外圈结构相匹配的的顶部结构，以使得车轮放置到该导轨上可以沿着导轨滚动，该两条导轨的内侧面之间沿导轨延伸方向具有均匀的间隙，以供连接运输车车体与车轮的连接杆通过，该连接臂一端固定于该导轨的外侧面或底部，其另一端固定于操作空间的顶部。

进一步地，该导轨的顶部结构具有沿导轨延伸方向的凹槽，以配合具有凸环的车轮外圈结构。

进一步地，该导轨的顶部结构具有沿导轨延伸方向的凸缘，以配合具有凹环的车轮外圈结构。

进一步地，该凹槽、凸环、凸缘、凹环的截面为弧形。

进一步地，该两条导轨的内侧面之间的最小间隙为30-100mm，且沿导轨延伸方向的间隙公差在0-5%之间。

进一步地，该导轨上每隔0.3-3m设置一对连接臂，每对连接臂设置在两条导轨各自外侧面或底部的相同位置。

进一步地，至少一对该连接臂的中间还固定连接至少一根加固杆。

进一步地，每对该连接臂的顶端均固定于一固定板之上，该固定板整体固定于操作空间的顶部。

进一步地，该连接臂上的拐角处还固定有一支撑杆，以与拐角形成三角架。

进一步地，该导轨和连接臂均为碳钢材质，其含有碳0.37～0.45wt%、硅0.17～0.37wt%、锰0.5～0.8wt%、铝0.1-0.5wt%和铁98.28～98.96wt%。

本发明采用以上技术方案，提供一种新的用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道，通过双轨并行、车轮倒挂等方式，不但分担了OHT运输小车的载重，增加了轨道的负重能力，而且提供小车车轮两个支点，以提高小车的运行稳定性，车轮与车体之间的连接杆也被置于两条导轨之间，避免小车以外掉落的可能，提高了小车运行的安全性；同时，两条连接臂中间相连、顶部通过固定板相连以及支撑杆的设置，更加提高了轨道的负重能力，使得两条导轨的载重远不止简单单条导轨载重的两倍，甚至达到三倍以上；并进一步采用掺铝碳钢材质，提高轨道强度的同时，避免了因轨道自身重量过高而导致的负重能力低、安全性差的缺点。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是本发明第一实施例的悬挂式轨道结构示意图；

图2是本发明第一实施例的悬挂式轨道立体示意图；

图3是本发明第二实施例的悬挂式轨道结构示意图；

图4是本发明第三实施例的悬挂式轨道结构示意图；以及

图5是本发明第四实施例的悬挂式轨道结构示意图。

具体实施方式

第一实施例