[发明专利]一种工作台上精确定位圆心的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件制造控制定位系统，具体涉及一种工作台上精确定位圆心的方法。 

背景技术

 在半导体器件加工时，需要在晶体内引入参杂物，从而改变半导体的传导率，而在引入参杂物的过程中，圆形半导体工件需要进行精准的定位，这样才能做到均匀准确的参杂，因此一套行之有效的控制定位工作台就至关重要，如果要提高工作台传送圆形半导体工件的稳定性和精准度，就要准确定位圆形工件的圆心位置，进而计算出工作台上圆形工件的偏移量，再通过调节工作台的方向和位置来抵消这些误差。 

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现： 

一种工作台上精确定位圆心的方法，它包括工作台、圆形工件、控制器、编码器、传感器a、传感器b和传感器c，所述工作台用来传送所述圆形工件，所述控制器接收所述编码器通过传感器采集到的编码信息，通过运算定位出所述圆形工件的圆心，定位圆心的检验，所述控制器根据圆心来控制和调节所述工作台取送所述圆形工件的方向和距离。

进一步的，所述的工作台上精确定位圆心的方法，其特征在于，包括以下步骤： 

步骤1）编码

在所述圆形工件的圆弧上任意设置三个不重叠的编码点，分别为A、B和C点，且上述圆弧位于一个同心圆上；

步骤2）采集编码信息

在所述工作台上设置三个传感器，分别为传感器a、传感器b和传感器c，所述传感器a、传感器b和传感器c分别采集所述编码点A、B和C点的位置编码信息；

步骤3）信息的传递

将所述传感器a、传感器b和传感器c采集到的编码点信息传递到所述编码器中，所述编码器将信息处理转换成所述控制器可识别的信号，并且传输到所述控制器中；

步骤4）运算定位圆心

所述控制器根据编码信号，再通过一系列运算，最终定位出所述圆形工件的圆心。

步骤5）定位圆心的检验 

在步骤4计算出的圆心位置上设置一个径向力矩传感器，在圆形工件旋转时，所述径向力矩传感器检测是否有径向力，如果有则执行所述步骤1，如果没有则定位成功结束步骤。

本发明的有益效果是: 

采用本发明技术方案，可以模拟出一个立体模型，快速准确地计算出圆形工件的圆心位置，以及传输目标点的方向和距离，大幅度提高了工作台传送圆形工件的稳定性和精准度，并且不会影响整个传输系统的传输效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。 

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中： 

图1为本发明的控制流程图；

图2为本发明的实施方式图。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。 

参照图2所示，一种工作台上精确定位圆心的方法，它包括工作台（1）、圆形工件（2）、控制器（3）、编码器（4）、传感器a（5）、传感器b（6）和传感器c（7），所述工作台（1）用来传送所述圆形工件（2），所述控制器（3）接收所述编码器（4）通过传感器采集到的编码信息，通过运算定位出所述圆形工件（2）的圆心，定位圆心的检验，所述控制器（3）根据圆心来控制和调节所述工作台（1）取送所述圆形工件（2）的方向和距离。 

进一步的，参照图1和图2所示，所述的工作台上精确定位圆心的方法，其特征在于，包括以下步骤： 

步骤1）编码

在所述圆形工件的圆弧上任意设置三个不重叠的编码点，分别为A、B和C点，且上述圆弧位于一个同心圆上；

步骤2）采集编码信息

在所述工作台上设置三个传感器，分别为传感器a、传感器b和传感器c，所述传感器a、传感器b和传感器c分别采集所述编码点A、B和C点的位置编码信息；

步骤3）信息的传递

将所述传感器a、传感器b和传感器c采集到的编码点信息传递到所述编码器中，所述编码器将信息处理转换成所述控制器可识别的信号，并且传输到所述控制器中；

步骤4）运算定位圆心