[发明专利]外观检查设备、外观检查方法以及程序

说明书

本发明提供了外观检查设备、外观检查方法以及程序。通过参考针对将由外观检查设备使用的多个测量工具中的特定测量工具而被设置为另一测量工具的测量区域的测量区域，来降低用户的负担。针对通过对无缺陷产品进行成像而获取的基础图像，设置作为诸如连接器尺寸检查工具之类的第一测量工具的测量参考的参考点或搜索区域。接下来，用户选择执行与第一测量工具分离的测量的诸如面积测量工具之类的第二测量工具。对于作为将被第二测量工具测量的区域的测量区域的坐标数据，在必要时调节并参考针对第一测量工具设置的参考点或搜索区域的坐标数据。

技术领域

本发明涉及用于通过对产品成像来检查产品的外观的外观检查设备、外观检查方法以及程序。

背景技术

通过对诸如连接器或半导体元件之类的产品的外观成像并执行图案匹配（图像识别）来执行所谓的产品外观检查。取决于产品的尺寸，产品可能不处于相机的成像范围内，并且通过连接这样的产品的多个图像来创建表示整个产品的图像，以便对这样的产品执行外观检查（日本未审查专利公开No.H06-167321和No.H09-251536）。

为了确定作为外观检查的对象的产品（检查对象）的质量，必须将检查对象的端子的端部或角部预设为参考点，或者将连接多个端子的直线设置为参考线。而且，需要针对具有100个引脚的连接器中的100个引脚的每一个，设置测量参数或质量确定参数。由此，用户的工作负担也与引脚数量成比例地增大。

用于执行外观检查的测量工具中包含测量引脚位置、测量引脚高度、或者测量引脚之间的距离或面积的多个不同类型的测量工具。在现有技术中，设置工作倾向于与测量工具的数量成比例地增加，这是因为检测点或检查区域和搜索区域是针对每个测量工具设置的。

另一方面，连接器中布置的多个引脚通常按照相同的形状等距地布置。用户需要通过在监视器上与每个连接器引脚的位置相关联地显示各个连接器引脚来设置测量区域，或者与一个连接器引脚的位置相关联地设置测量区域，以特定间隔移动该区域，并复制该区域。在前一种情况下，出现了复杂的重复性工作，从而用户的负担较重。在后一种情况下，出现了手动校正以等距复制的测量区域的工作，这是因为当连接器引脚的位置存在差异时，连接器引脚之间的间隔不是固定的。针对每个测量工具，都出现了这种工作。

另一方面，如果可以在上述任意一种方法中设置针对多个测量工具中的连接器引脚位置测量工具的测量区域、并且另一测量工具可参考该位置测量工具的设置结果，则在多个测量工具中的用户的工作负担将总体地减小。例如，如果针对检测引脚的尖端位置的引脚检测工具设置每个引脚的测量区域、并且针对引脚检测工具设置的每个引脚的测量区域进行对于测量引脚之间的面积的面积测量工具的偏移布局，则面积测量工具的测量区域将通过简单任务来设置。

发明内容

由此，本发明的一个目的是提供一种设备和一种方法，其通过将针对将由外观检查设备使用的多个测量工具中的特定测量工具设置的测量区域看作为另一测量工具的测量区域，来降低用户的负担。

根据本发明，提供了一种外观检查设备，包括：

基础图像存储部分，其存储通过对具有在特定（或者固定）方向上排列的多个特征部分的检查对象进行成像而得到的基础图像；

显示部分，其显示所述基础图像；

位置检测区域设置部分，其根据每个特征部分，对所述显示部分上所显示的基础图像设置用于检测所述检查对象的多个特征部分的位置的位置检测区域；

测量工具选择部分，其从用于执行不同测量的多个测量工具中选择用于测量所述检查对象的测量工具；

测量区域设置部分，其根据所述位置检测区域设置部分所设置的位置检测区域来设置测量区域，所述测量区域是将由所述测量工具选择部分所选的测量工具测量的区域；以及