[发明专利]外观检查设备、外观检查方法以及程序

权利要求书

1.一种外观检查设备，包括：基础图像存储部分，其存储通过对具有在特定方向上排列的多个特征部分的检查对象进行成像而得到的基础图像；位置检测区域设置部分，其对所述基础图像设置搜索区域以检测所述检查对象的所述多个特征部分的位置，所述搜索区域还用于搜索与在所述搜索区域内检测到的所述特征部分的位置相关联的并且作为位置检测的参考的检测点；测量工具选择部分，其从用于执行不同测量的多个测量工具中选择测量工具以测量所述检查对象；测量区域设置部分，其基于所述搜索区域或所述检测点来设置多个测量区域，其中每个测量区域均是将利用所述测量工具选择部分所选择的测量工具进行测量的区域；测量区域调节部分，其调节由所述测量区域设置部分设置的多个测量区域之一的位置，并且以相同的调节量调节由所述测量区域设置部分设置的多个测量区域中的其他区域的位置；显示部分，其将所述基础图像连同所述测量区域调节部分所调节的测量区域一起进行显示；以及质量确定部分，其根据所述测量区域调节部分所调节的测量区域来执行测量，并且根据测量结果来确定所述检查对象是良好的还是有缺陷的。

2.根据权利要求1所述的外观检查设备，其中所述测量区域调节部分还调节所述测量区域的关于该测量区域的尺寸的设置。

3.根据权利要求1所述的外观检查设备，其中所述测量区域调节部分还以相等的调节量来调节所述测量区域设置部分所设置的多个测量区域中的每一个的尺寸和角度中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的外观检查设备，还包括：柱状图创建部分，其创建表示所述测量区域设置部分所设置的测量区域的图像密度的柱状图，其中所述显示部分显示所述柱状图创建部分所创建的柱状图。

5.根据权利要求1所述的外观检查设备，其中：当所述位置检测区域设置部分使多个搜索区域中的一个或多个搜索区域无效时，所述测量区域设置部分取消所述一个或多个搜索区域的无效，并基于其中已经取消了无效的所述一个或多个搜索区域来设置所述测量区域。

6.根据权利要求1所述的外观检查设备，其中所述显示部分执行在所述基础图像上覆盖并显示表示所述特征部分的位置的标记。

7.一种外观检查方法，包括步骤：获取通过对具有在特定方向上排列的多个特征部分的检查对象进行成像而得到的基础图像；对所述基础图像设置搜索区域以检测所述检查对象的所述多个特征部分的位置，所述搜索区域还用于搜索与在所述搜索区域内检测到的所述特征部分的位置相关联的并且作为位置检测的参考的检测点；从用于执行不同测量的多个测量工具中选择测量工具以测量所述检查对象；基于所述搜索区域或所述检测点来设置多个测量区域，其中每个测量区域均是将利用所选择的测量工具进行测量的区域；调节所设置的多个测量区域之一的位置，并且以相同的调节量调节所设置的多个测量区域中的其他区域的位置；在显示部分上对所述基础图像连同所调节的测量区域一起进行显示；通过对所述检查对象进行成像来获取检查图像；以及根据所调节的测量区域来针对所述检查图像执行测量，并且根据测量结果来确定所述检查对象的质量。